Исчерпывающая стратегия улучшения полупроводникового производства, использующего пластины диаметром 300 мм, и подготовки перехода к 450-мм пластинам была опубликована на этой неделе специалистами International SEMATECH Manufacturing Initiative (ISMI - дочернее предприятие SEMATECH).
Если дополнить подробностями первое сообщение на эту тему, прозвучавшее несколько дней назад, можно получить более ясную картину предполагаемого пути развития отрасли.
ISMI планирует сфокусироваться на существующей программе 300mmPrime, которая нацелена на повышение производительности и сокращение длительности рабочего цикла. Параллельно, будет продвигаться программа по подготовке перехода отрасли на 450-нм пластины с целью снижения общих затрат производства. Директор ISMI Скотт Крамер сказал, что обе программы учитывают вопросы совместимости – большая часть улучшений, направленных на сокращение длительности рабочего цикла, которые разрабатываются по программе 300mmPrime, как ожидается, будут полезны и в 450-мм производстве.
По словам Крамера, двойная стратегия отражает различия в потребностях компаний, являющихся членами ISMI. С одной стороны, есть интерес в улучшении 300-мм производства, а с другой – на повестке дня стоит вопрос о создании отраслевой инфраструктуры для обработки пластин большего диаметра.
Том Эйбел, руководитель 450-мм программы, сообщил, что решение ISMI основывается на девяти месяцах интенсивного моделирования, которое позволило в динамике воссоздать полномасштабную картину по более чем 130 фабрикам. Эти усилия дали возможность понять, позволят ли только улучшения, ожидаемые от реализации программы 300mmPrime, достичь целей, стоящих перед ISMI: снижения на 30% стоимости производства в расчете на единицу площади пластины и сокращения длительности цикла на 50%.
Эйбел отметил, что подкорректированная программа 300mmPrime будет фокусироваться на областях, имеющих наибольший потенциал сокращения длительности цикла.
Что касается программы перехода к пластинам большего диаметра, работы в этом направлении начнутся в текущем году, а уже в будущем году должны быть достигнуты первые цели: обеспечена доступность 450-мм кремниевых пластин, разработаны руководства и стандарты по интеграции 450-мм производства, создан прототип испытательного стенда.
Источник: ISMI