Лазер Cymer XLR 600i мощностью 90 Вт позволит производителям освоить нормы 32 нм и менее

ПредыдущаяСледующая

С 16 по 20 июля в Сан-Франциско пройдет конференция производителей полупроводниковой продукции SEMICON West 2007. В преддверии этого мероприятия, компания Cymer, основной мировой поставщик лазерных источников дальнего УФ-излучения (DUV), используемых в полупроводниковом производстве, представила лазер XLR 600i.

Устройство имеет выходную мощность 90 Вт и работает на частоте 193 нм. Это первый источник такой мощности на фториде аргона (ArF). Утверждается, что преимущества The XLR 600i по части производительности и доступности обеспечат производителям возможность массового выпуска продукции по самым совершенным технологиям литографии при одновременном снижении издержек.

В конструкцию лазера легли решения, проверенные на предыдущих разработках компании – лазерах XLR 500i и XLA 300. В частности, вместо каскада усиления мощности используется кольцевая рециркуляция (Recirculating Ring), а частота следования импульсов равна 6 кГц, что положительно сказывается на стабильности энергии импульса и позволяет точнее дозировать энергию. В свою очередь, это дает возможность точно соблюдать так называемые «критические размеры». Кроме того, в XLR 600i используется технология Advanced Bandwidth Stabilization (ABS), которая повышает предсказуемость и повторяемость результатов. Производитель отмечает экономичность XLR 600i – за счет применения технологии Gas Lifetime Extension (GLX), новый лазер в десять раз реже нуждается в «дозаправке» газом.

Напомним, в свое время компания Cymer выпустила первый в мире лазерный источник на базе ArF с частотой следования импульсов 6 кГц, предназначенный для серийного производства 45-нм полупроводниковых приборов. Предполагается, что новый лазер позволит применять иммерсионную фотолитографию с двойным шаблоном при переходе к нормам 32 нм и менее.

Источник: Cymer

13 июля 2007 Г.

19:49

Ctrl
ПредыдущаяСледующая

Все новости за сегодня

Huawei подтвердила название нового флагманского смартфона. Опубликованы характеристики Huawei P20 Pro [Обновлено]: Анонс Huawei P20 ожидается 27 марта в Париже

iOS и Android занимают уже 99,9% рынка мобильных ОС: Смартфоны, работающие под управлением других операционных систем, резко сдали позиции за прошедший год31

Беспроводное зарядное устройство Apple AirPower Wireless Charging Mat должно поступить в продажу в марте: Точная дата выхода пока не сообщается31

Google опровергла слухи о режиме Dark Mode в Android 9: Напомним, ночной режим доступен во многих популярных приложениях, включая Twitter и Telegram5

Huawei Y3 (2018) — еще один ультрабюджетный смартфон с Android 8.1 Oreo : Что касается характеристик, то с прошлого года они практически не изменились4

Приложение Samsung Max пришло на смену Opera Max: Samsung Max будет из коробки установлено на смартфоны Galaxy A и Galaxy J5

Приложение Google Lens становится доступным на всех смартфонах с Android и iOS : Кроме того, владельцы некоторых флагманских смартфонов получат интеграцию Google Lens в приложение камеры2

GM 8 Go может стать первым смартфоном с Android 8.1 Oreo (Go edition): Учитывая характеристики, можно предположить, что устройство вряд ли получит цену менее 50 долларов8

Опубликованы официальные изображения смартфонов Alcatel 1X, Alcatel 3 и Alcatel 3X: Главным отличием Alcatel 3X станет сдвоенная основная камера

Ulefone T2 Pro — первый в мире смартфон на базе SoC Helio P70: Презентация Ulefone T2 Pro ожидается на MWC 20187

В США создан полностью модульный пистолет: Продажи должны начаться во втором квартале 201820

Закон о VPN и анонимайзерах на практике не работает: Соответствующий закон вступил в силу 1 ноября 2017 года33

MediaTek отгружает SoC Helio P40 компаниям Oppo и Vivo: Валовая прибыль компании в 2018 году должна вырасти на 38%7

iXBT TV

  • ИИ в опасности, 10 000-летние часы, Apple представляет "будущее сегодня"

  • Обзор сетевого накопителя Synology DS918+ на 4 винчестера

  • Обзор экшн-камеры Gmini MagicEye HDS8000 с ненастоящим 4K-видео

  • Обзор многофункционального сетевого CD-ресивера Pioneer NC-50DAB

  • Обзор блока питания Thermaltake Toughpower iRGB Plus 1250W Titanium с программно-аппаратным комплексом мониторинга

  • [6.07] Подкаст PRO игры: cтрасти вокруг Kingdom Come: Deliverance, вымирание слэшеров, русский колорит

  • Обзор компактной фотокамеры Sony RX10 IV с сенсором 1″ и несменным 25-кратным зум-объективом

  • Обзор карты памяти SanDisk Extreme Pro CFast 2.0 емкостью 128 ГБ

  • Обзор портретного объектива Fujinon XF 50mm f/2 R WR для компактных беззеркальных камер Fujifilm

  • Запуск Falcon Heavy, убытки Илона Маска, умные очки Intel

  • Обзор недорогого корпуса Deepcool Earlkase RGB со стеклянной стенкой и RGB-подсветкой

  • Обзор кинокамеры Canon EOS C200: съемка 4K-видео с высокой частотой кадров в формате Cinema RAW Light

Календарь

июль
Пн
Вт
Ср
Чт
Пт
Сб
Вс