International EUV Symposium: Intel о коммерциализации EUV. CaF по-прежнему дороже золота

ПредыдущаяСледующая
1174
1174

Питер Сильверман (Peter Silverman), глава подразделения Intel по капитальному литографическому оборудованию и один из участников международного симпозиума по вопросам внедрения и разработки EUV (extreme ultraviolet) оборудования - International EUV Symposium, в своей программной речи поделился своими соображениями по поводу перспектив внедрения EUV оборудования. Вот краткие тезисы:

  • Прежде чем говорить о коммерческом использовании EUV оборудования, EUV сканерам необходимо достичь производительности порядка 120 пластин в час. Сегодняшние прототипы имеют пиковую производительность обработки до 90 пластин в час, а с учетом времени на сервисное обслуживание – около 60 пластин в час

  • Индустрии была бы желательна цена EUV сканеров на уровне $20 млн. за штуку, между тем, эксперты ожидают ценового уровня в $50 млн. и даже выше. Помимо этого, стоимость фотомасок также неизмеримо возрастает

  • Начало коммерческой эксплуатации EUV систем ожидается в 2007 году, когда Intel и другие компании планируют перейти на нормы производства с узлами порядка 45 нм. Таким образом, готовые EUV бета-установки должны появиться в 2005 году

  • Оптимизм по поводу успешного продвижения разработки EUV литографического оборудования с 13,5 нм лазерами несколько омрачается ухудшением общей экономической ситуации в мире. Не исключено, что к моменту появления готовых EUV систем некоторые производители процессоров и памяти не смогут позволить себе покупку такого оборудования

  • По предварительным прикидкам, работа с нормами 45 нм техпроцесса потребует применения EUV литографии для четырех критичных слоев масок, для работы с остальными 11 слоями может с успехом использоваться 193 нм оборудование и даже в некоторых случаях 248 нм сканеры

  • Главная задача Intel – отладить EUV оборудование для обработки критических величин 45 нм техпроцесса. Предположительно, с этим техпроцессом будет использоваться 157 нм оборудование, хотя, возможно, удастся обойтись лишь 193 нм инструментами

  • Следующее поколение - технологический процесс с нормами 32 нм, внедрение которого ожидается в Intel в 2009 году, потребует применения EUV сканеров и масок для обработки девяти слоев. Вполне возможно. что индустрия обойдется без внедрения инструментов поколения 157 нм (Сильверман выразился так: "высококачественный фтористый кальций [необходимый для оптических систем 157 нм оборудования] до сих пор гораздо дороже золота"). Лишь 10% 193 нм сканеров, поставки которых уже начались, оборудованы оптикой на основе фторида кальция. В то же время ожидается, что в силу технологических особенностей, 157 нм сканеры все до единого будут оборудованы такой оптикой

  • EUV системы с высокой производительностью потребуют внедрения более мощных лазеров. Нынешние лучшие образцы ксеноновых лазеров имеют мощность порядка 10 Вт, в то время как требуется мощность порядка 100 и более ватт

  • Еще одной нынешней проблемой, стоящей на пути внедрения EUV установок, является недостаточная чувствительность резистов. Коммерческое внедрение EUV требует разработки фоторезистов с чувствительностью на уровне 2 мДж

  • В настоящее время единственным поставщиком EUV бета-систем является ASML, однако, японские Canon и Nikon также обещают начало поставок своих прототипов к 2005 году

17 октября 2002 Г.

15:48

Ctrl
ПредыдущаяСледующая
194
194
1155
61174

Все новости за сегодня

Серию Corsair Vengeance пополнил набор модулей памяти SO-DIMM DDR4-4000 суммарным объемом 32 ГБ: Входящие в набор модули работают с задержками 19-23-23-45

Toshiba и Western Digital подписали соглашение, касающееся продажи полупроводникового производства : Стороны отзывают все жалобы и иски, связанные с продажей TMC

iPhone 8 и iPhone X были одними из самых популярных поисковых запросов Google в нынешнем году: Google опубликовала список самых популярных поисковых запросов года3

Honor 9 Lite — полноэкранный смартфон с двумя сдвоенными камерами и ОС Android 8.0: Смартфон Honor 9 Lite получит не самый ёмкий аккумулятор1

AEye называет технологию iDAR прорывом в лидарах для автономных автомобилей: В состав iDAR входит лидар, высокочувствительная камера и встроенное ПО

LG Group за 2018 год намерена инвестировать в своё развитие более 17 млрд долларов: LG Group в следующем году вложит в развитие 17,4 млрд долларов

Qualstar берется по заказу Sony разработать хранилище данных на оптических дисках: Срок — до 31 марта будущего года

Технология DVD подешевеет: Стоимость лицензии для производителей проигрывателей будет снижена 1 января 2018 года 34

Карта захвата видеосигнала Magewell Pro Capture HDMI 4K Plus LT поддерживает сквозное подключение HDMI: Pro Capture HDMI 4K Plus LT поддерживает захват видео разрешением до 4096 x 2160 пикселей с кадровой частотой 60 к/с2

Lenovo готовит свой первый полноэкранный смартфон, и это будет бюджетная модель: Полноэкранный смартфон Lenovo получит четырёхъядерную платформу3

Meizu ощутимо снизила цены на свои флагманские смартфоны: Смартфоны Meizu Pro 7 и Pro 7 Plus теперь стоят намного меньше5

Ускоритель Inno3D P104-100 предназначен для добычи криптовалют: Цену Inno3D P104-100 производитель обещает назвать в конце декабря6

Компания Panasonic купила у Sanyo ключевые патенты на технологию DVD: Указанные патенты включены в комплексную лицензию DVD6C18

MIPI Alliance открывает доступ к спецификации MIPI I3C: Спецификация MIPI I3C является развитием широко используемой уже 35 лет технологии I2C1

В браузере Google Chrome 64 появится поддержка параллельной загрузки. Для всех платформ, кроме iOS: Google Chrome 64 получит функцию параллельной загрузки20

Появились первые снимки смартфона Honor 9 Lite: Honor 9 Lite получит стеклянную панель с тыльной стороны

Пользователи Twitter отзываются хорошо о смартфонах Samsung гораздо чаще, чем об аппаратах Apple: Смартфоны Samsung чаще вызывают у людей положительные эмоции, чем iPhone26

Фотогалерея дня: разборка видеокарты Nvidia Titan V: GPU видеокарты Nvidia Titan V действительно огромен29

Google представила три экспериментальных приложения для работы с фото и видео: Google представила приложения Storyboard, Selfissimo! и Scrubbies

Japan Display разрабатывает дисплей для VR с плотностью 803 пикселя на дюйм: JDI хочет в течение полугода завершить разработку экрана с плотностью свыше 1000 пикселей на дюйм1

1318
1318

iXBT TV

  • Обзор корпуса Thermaltake View 71 TG RGB со стеклянными стенками

  • Обзор роликового массажера Gochu HPM-600 с инфракрасным прогревом

  • Обзор робота-пылесоса iBoto Easy Home X410

  • Настоящий титан, машинное обучение для камеры, «игровой Оскар» 2017

  • Обзор струйного МФУ Canon Maxify MB5440 с широкими возможностями для небольшого офиса

  • Обзор рожковой кофеварки Kitfort KT-703 с полуавтоматическим приготовлением капучино и латте

  • Обзор видеорегистратора с радар-детектором и GPS-модулем Slimtec Phantom A7

  • Взлом macOS, покемоны-вредители, сверхскоростной стандарт HDMI 2.1

  • Выбор системы хранения данных бюджетного игрового компьютера: HDD/SSD/Optane Memory

  • Обзор беззеркальной камеры Sony α6500 премиального класса с сенсором APS-C

  • Обзор OLED-телевизора Sony Bravia KD-55A1 на платформе Android TV

  • Обзор гладильного пресса MIE Romeo II для глажения постельного белья и одежды простых форм

Календарь

октябрь
Пн
Вт
Ср
Чт
Пт
Сб
Вс

1212
1212
997