Новый способ нанесения меди на полупроводник

ПредыдущаяСледующая

Исследователи из Texas A&M University (ранее университет назывался "Техасский Университет Агрокультуры и Машиностроения", отсюда и "А", "М" в названии) сообщают, что разработали новый способ нанесения меди на поверхность кристаллов полупроводников - плазменный. При этом нанесение меди на поверхность может проводиться при комнатной температуре.

Обычно алюминиевые проводники наносятся на кристалл травлением. Но поскольку полупроводник образовывает слишком прочные связи с медью, процесс травления медных проводников на поверхности довольно сложен. Поэтому медные проводники обычно наносятся "дамаскированием" (damascene approach, метод "насечек"), правда, не тем "дамаскированием", как при изготовлении мечей: на поверхности кристалла вырезаются каналы, которые наполняются медью, после чего следует СМР-процесс. Однако применение СМР-процесса тоже имеет свои проблемы и, по данным International Technology Roadmap for Semiconductors (ITRS) будет трудно применим для 100 нм техпроцессов.

Итак, в новом процессе вместо того, чтобы испарять медь в плазме, вся медная пленка трансформируется в неактивный галогенид меди (бромид или хлорид), формирующий пористый слой на поверхности кристалла. Этот слой потом растворяется слабым раствором HCl. Исследователи считают, что у этого процесса намного выше шансы на успех, чем у альтернативных. Многие процессы наталкиваются на трудность с удалением галогенидов с поверхности, что требует нагрева до температур выше 400C, чтобы получить давление паров выше 1 Торр (1 мм. рт. ст. или 131 Па). Это приводит к ухудшению равномерности нанесения проводников и неоправданному усложнению оборудования.

Исследователи изучили влияние таких параметров, как время нахождения в плазме, давление, мощность, температура; на формирование медного слоя. Температура кристалла напрямую влияет на скорость восстановления меди. Например, при мощности 600 Вт и давлении плазмы в 20 мТорр, если увеличить температуру субстрата с 25 до 100 градусов Цельсия, скорость роста CuCl увеличилась с 600 до 1200 нм/мин. Равномерность слоя также зависит от температуры. Но даже при комнатной температуре исследователи смогли достичь неплохих результатов.


На первом рисунке показано поперечное сечение плазмы меди (400 нм), подверженной воздействию молекулярного хлора при температуре 25 С. Уникальность процесса заключается в том, что окислитель генерируется в плазме и субстрате при постоянной бомбардировке ионами. Однако, при обработке соляной кислотой слой меди может вздуться, что объясняется увеличением объема при проникновении хлора и пористой структурой получившегося слоя.


Исследователи сравнили этот процесс с окислением железа и образованием ржавчины. На втором рисунке показан получаемый образец. Были также исследованы и другие факторы, влияющие на равномерность слоя меди, и составлена некоторая математическая модель.

Сейчас исследователи работают над созданием нанометровых медных проводников.

15 февраля 2002 Г.

04:17

Ctrl
ПредыдущаяСледующая
194
194

Все новости за сегодня

VIA представила четырёхъядерные и восьмиядерные процессоры KaiXian KX-5000: Процессоры KaiXian KX-5000 посоперничают с Intel Atom C20005

Intel готовит новые кэширующие накопители Optane M10: SSD Optane M10 также будут недешёвыми 1

Western Digital расширяет ассортимент корпоративных накопителей на жестких магнитных дисках моделями Ultrastar 7K8 и 7K6 объемом 4, 6 и 8 ТБ: Гермозоны HDD Ultrastar 7K8 и 7K6 заполнены воздухом6

Три новых смартфона Apple в прошлом квартале продавались хуже, чем две новинки за соответствующий период 2016 года : iPhone X занял 20% продаж новых смартфонов Apple 21

ITC подозревает Samsung, SK Hynix и другие компании в ценовом сговоре, касающемся SSD: Расследование было начато через две недели после того, как компания BiTMICRO подала в ITC жалобу18

В этом году производители чаще будут использовать композитные материалы в шасси ноутбуков: Основным материалом все же останутся алюминиевые сплавы19

Acer Iconia One 8 (2018) — планшет с бюджетной платформой и 1 ГБ оперативной памяти: Планшет Acer Iconia One 8 (2018) получит мало ОЗУ16

В этом квартале предложение телевизионных ЖК-панелей превысит спрос, что приведет к снижению цен: Ожидается, что заметнее всего подешевеют 32-дюймовые панели8

Toshiba рассматривает возможность первичного публичного размещения акций дочерней компании, выпускающей флэш-память: Продажа полупроводникового производства Toshiba консорциуму во главе с Bain Capital может и не состояться1

Против Apple подали коллективный иск из-за уязвимостей Meltdown и Spectre: По мнению истцов, компания Apple нарушила «подразумеваемую гарантию» и обогащалась незаконно55

Трехслойный датчик изображения, созданный Samsung, способен снимать видео 1080p с частотой 480 к/с: Другим достоинством нового датчика является высокая скорость автоматической фокусировки58

Автомобильное зарядное устройство Xiaomi Mi Car Inverter стоит $31: Устройство подключается к автомобильному прикуривателю, предлагая пользователям стандартный разъем для китайской вилки11

Smartisan обещает показать революционный продукт, на который будут равняться другие производители в течение следующего десятилетия: Источники предполагают, что речь идет о новом флагманском смартфоне, который будет оснащен однокристальной системой Snapdragon 84517

Смартфон Xiaomi Mi 6X спереди будет напоминать Samsung Galaxy S8: Свежее изображение демонстрирует нам новый чехол с точно такими же вырезами на задней панели4

Опубликованы новые изображения полноэкранного смартфона Meizu 15 Plus: Схематическое изображение задней панели указывают на наличие вертикальной сдвоенной камеры и вспышки в виде светодиодного кольца

Смартфон Vivo X20 Plus с подэкранным дактилоскопическим датчиком выпустят 24 января: Цена устройства составит около 625 долларов4

Huawei назвали самым рекомендуемым брендом смартфонов в Китае: В рейтинге Chnbrand за 2017 году представлено около 6000 брендов, среди которых оказалось 60% китайских компаний10

Смартфон Huawei Mate 10 Pro оказался очень устойчивым к морозу: Huawei Mate 10 Pro заморозили в озере12

Google и Tencent образовали альянс, договорившись о взаимном использовании патентов: В данный момент в Китае заблокированы различные сервисы Google2

Nokia представит новые смартфоны 25 февраля: Пресс-конференция пройдет в Музее современного искусства в Барселоне

Появилось схематическое изображение смартфона Nokia с модулем из пяти камер: Смартфон Nokia с пятью камерами будет похож на Lumia 10206

Nvidia просит продавцов реализовывать видеокарты в первую очередь геймерам, а не майнерам: Nvidia хочет решить проблему дефицита видеокарт рекомендациями для продавцов62

iXBT TV

  • Обзор цветного светодиодного МФУ Xerox VersaLink C605 для малых и средних офисов

  • Apple отключит замедление iPhone, 10 лет MacBook Air, дрон спас человека

  • Обзор автомобиля Mercedes-Benz E 220 d 4Matic All-Terrain Luxury: полноприводный внедорожный универсал

  • Обзор складной гладильной системы MIE Maxima: утюг, отпариватель для одежды и гладильная доска

  • Обзор недорогого Full HD DLP-проектора BenQ W1050 для домашнего кинотеатра

  • Процессор Intel с графикой AMD, экраны любой формы и размера

  • Критическая уязвимость Intel, разбор Apple iMac Pro, Dell XPS 13 стал тоньше

  • Обзор компактной беспроводной колонки JBL Playlist с поддержкой Chromecast

  • Обзор игрового IPS-монитора LG 34UM69G с соотношением сторон 21:9

  • Обзор блока питания Aerocool P7-750W Platinum с гибридной системой охлаждения

  • Apple специально замедляет старые iPhone, VR-революция, крошечный телефон

  • Обзор широкоугольного объектива Canon EF 35 mm F1.4L II USM

Календарь

февраль
Пн
Вт
Ср
Чт
Пт
Сб
Вс