На выставке CeBIT 2002 исследователи из Intel объявили о создании самой маленькой на данный момент в мире ячейки памяти SRAM площадью всего 1 кв. микрон.
Чип SDRAM | 90 нм пластина |
Ячейка является структурным компонентом полнофункционального чипа памяти SRAM, произведенного по разработанной в Intel 90 нм (0,09 мкм) технологии, что подтверждает планы компании по массовому внедрению новой технологии в 2003 году.
Новая 0,09 мкм технология будет использоваться компанией для производства большинства своей продукции, в том числе процессоров, чипсетов и коммуникационного оборудования. Intel подчеркивает, что вся продукция по данной технологии будет производиться исключительно на 300 мм кремниевых пластинах. 52 Мбит чип SRAM и монета в квортер ($0,25)
Новые 52 Мбит чипы SRAM, созданные Intel на экспериментальной 300 мм фабрике D1C в Хиллсборо, штат Орегон, с использованием комбинации 193 нм и 248 нм литографических инструментов, содержат по 330 млн. транзисторов, при этом площадь микросхемы составляет 109 кв. мм. Производство микросхем памяти стандарта SRAM традиционно используется в отрасли для тестирования новых технологий создания логических микросхем.