Иммерсионная литография: 32-нм нормы под вопросом

ПредыдущаяСледующая

Находящийся на стадии внедрения в массовое производство 65-нм технологический процесс, как известно, в некоторых случаях, в частности, Intel, удалось обеспечить без использования иммерсионных технологий (подразумевающих погружение обрабатываемых полупроводниковых пластин в воду или иную жидкость с показателем преломления больше 1). Микропроцессорный гигант уже дал понять, что, вполне вероятно, не будет использовать иммерсию и для 45-нм норм, рассматривая технологию в качестве кандидата на внедрение для 32-нм норм, если к тому моменту EUV-литография (использующая источники «жесткого» ультрафиолета) так и не будет готова к внедрению. Учитывая, что за 32-нм среди сторонников разных технологий развернулась настоящая битва, иммерсионной литографии вообще может не найтись места на заводах Intel.

В отличие от Intel, тайваньский контрактный производитель TSMC заявил о намерении внедрить иммерсионные инструменты для производства по 45-нм нормам. В дальнейшем, TSMC рассматривает возможность использования иммерсионных технологий для норм 32 нм, электронно-лучевой литографии или EUV – для норм 22 нс.

Однако, опасения по поводу того, что материалы с высоким показателем преломления, необходимые для эффективной работы иммерсионных инструментов, работающих с источниками света с длиной волны 193 нм, созданы вовремя не будут, в последнее время раздаются все чаще и громче. Эксперты утверждают, что современные 193-нм иммерсионные литографические инструменты, использующие дистиллированную воду (показатель преломления – 1,44), обеспечат производство вплоть до норм 32 нм. ASML, Canon и Nikon уже предлагают 193-нм иммерсионные сканеры, которые можно использовать для 45-нм производства. Дальнейшие перспективы иммерсии зависят от разработки жидкостей и материалов оптической системы с более высоким показателем преломления, и ряд компаний, в частности, DuPont и JSR, ведут работы в этом направлении, утверждая о достижении величины показателя преломления в 1,64. Однако, с этими жидкостями возникает масса нерешенных до сих пор проблем (например, токсичность, способность вступать в химические реакции с кремнием, дороговизна и т. д.), посему общее настроение в отрасли таково, что промышленники все больше смотрят в сторону таких технологий, как электронно-лучевая литография (используемая, в общем-то, уже давно, но не применяющаяся в массовом производстве из-за малой скорости обработки) и уже упоминавшаяся EUV-литография. Например, в ASML не верят, что материалы с высоким показателем преломления будут готовы в срок – к 2009 году, и предлагают производителям настраиваться на EUV-литографию.

22 мая 2006 Г.

16:37

Ctrl
ПредыдущаяСледующая
194
194

Все новости за сегодня

Облачный сервис Samsung Cloud вскоре прекратит поддерживать резервное копирование сторонних приложений: С 6 февраля Samsung Cloud перестанет сохранять копии стороннего ПО 20

В конце года может выйти смартфон Nokia, оснащённый модулем из пяти камер: Nokia может выпустить смартфон с камерой с пятью датчиками изображения 46

Смартфон Samsung Galaxy J8 (2018) будет более производительным, чем можно было бы подумать: Samsung Galaxy J8 (2018) может прийти на смену моделям Galaxy J76

LG 27UK650-W — 27-дюймовый монитор 4K с поддержкой HDR10 и стоимостью 550 долларов: LG оснастила монитор 27UK650-W панелью IPS разрешением 4K UHD19

OnePlus действительно нашла на своём сайте чужеродный скрипт. Под угрозой находятся данные о 40 000 платёжных картах: Скрипт на сайте OnePlus собрал данные максимум о 40 000 платёжных картах 5

Apple возглавила рейтинг самых почитаемых компаний Fortune: Второй год подряд следом за Apple идет Amazon52

Низкий спрос на ноутбуки вынуждает производителей металлических корпусов обратить внимание на электромобили: Помимо корпусов электродвигателей производители осваивают выпуск корпусов для различной электроники, применяемой в электромобилях8

В 2017 году чаще всего клонировали смартфоны Samsung : Apple заняла вторую позицию с результатом 7,72%20

«Доллар 2.0» — Наталья Касперская назвала Bitcoin разработкой ЦРУ: Некоторые аналитики считают, что уже в этом году курс Bitcoin может достигнуть 100 000 долларов90

Представлены 3D-камеры Intel RealSense D415 и D435: RealSense D415 и D435 доступны для предзаказа по цене 150 и 180 долларов соответственно2

iOS 11 серьёзно отстаёт от предшествующей версии по темпам распространения : iOS 11 заняла 65% рынка совместимых устройств 58

Защищенный смартфон Aermoo M2 получил сдвоенные камеры PureView Carl Zeiss: В основной сдвоенной камере используются датчики изображения разрешением 16 и 13 Мп6

Суммарный годовой доход магазина Apple AppStore в нынешнем году сравняется с мировыми кассовыми сборами кинотеатров: AppStore скоро достигнет отметки в 40 млрд долларов дохода15

iXBT TV

  • Apple отключит замедление iPhone, 10 лет MacBook Air, дрон спас человека

  • Обзор автомобиля Mercedes-Benz E 220 d 4Matic All-Terrain Luxury: полноприводный внедорожный универсал

  • Обзор складной гладильной системы MIE Maxima: утюг, отпариватель для одежды и гладильная доска

  • Обзор недорогого Full HD DLP-проектора BenQ W1050 для домашнего кинотеатра

  • Процессор Intel с графикой AMD, экраны любой формы и размера

  • Критическая уязвимость Intel, разбор Apple iMac Pro, Dell XPS 13 стал тоньше

  • Обзор компактной беспроводной колонки JBL Playlist с поддержкой Chromecast

  • Обзор игрового IPS-монитора LG 34UM69G с соотношением сторон 21:9

  • Обзор блока питания Aerocool P7-750W Platinum с гибридной системой охлаждения

  • Apple специально замедляет старые iPhone, VR-революция, крошечный телефон

  • Обзор широкоугольного объектива Canon EF 35 mm F1.4L II USM

  • Обзор робота-пылесоса Kitfort KT-516 со сменными уборочными блоками

Календарь

май
Пн
Вт
Ср
Чт
Пт
Сб
Вс