ASML представляет Twinscan XT:1400: иммерсионный сканер для массового производства

ПредыдущаяСледующая

На торговой выставке Semicon Europa компания ASML наконец-то представила свои 193-нм литографические инструменты, обеспечивающие выпуск полупроводниковых интегральных микросхем по нормам 65 нм как с применением иммерсии (погружения в воду), так и без таковой.

Сканер ASML Twinscan XT:1400 обладает высокой числовой апертурой, благодаря чему он может «легким движением руки» превратиться в иммерсионный инструмент. Точнее, с помощью специального "immersion conversion kit." Система предназначена для использования в массовом производстве по 65-нм нормам, а также с ее помощью можно будет создавать прототипы 45-нм чипов. «Сухая» версия сканера будет доступна в декабре 2004 года, иммерсионная – в конце 2005.

Таким образом, XT:1400 станет иммерсионным сканером третьего поколения. Первый, 1150i, являлся прототипом нового класса устройств, а XT:1250i не предназначался для массового выпуска чипов. XT:1400 поставляется с набором программных и аппаратных средств Ultra-k1.

Тем временем конкуренты ASML, Canon и Nikon, также собираются представить в скором будущем свои иммерсионные системы. Правда, нынешняя Canon AS-3i пока способна создавать лишь 90-нм прототипы, а годный для массового производства новый сканер с числовой апертурой около 1,0 появится лишь к концу 2005 или началу 2006 года. Nikon же собирается запустить в серию свой степпер на ArF-оптике к концу 2005 – компания решила «пропустить» этап вывода на рынок устройств с апертурой 0,92, и ее коммерческий степпер будет обладать числовой апертурой 1,0. Nikon надеется опередить всех по этому показателю и обеспечить возможность массового производства по 60-нм номам к концу 2005 года.

21 апреля 2004 Г.

14:49

Ctrl
ПредыдущаяСледующая
194
194

Все новости за сегодня

В семействе Coffee Lake появится три процессора Pentium Gold и пара CPU Celeron: Появились данные о новых CPU Intel32

YouTube ужесточает требования для включения монетизации канала: YouTube меняет правила монетизации 23

1400-километровый водный канал в Китае оснащён более чем 100 000 датчиков IoT: Водный канал в Китае оснащён огромным количеством датчиков 7

Многие смартфоны Honor теперь будут в первую очередь анонсировать в Индии: Huawei сделает особый акцент на рынке Индии2

Специалистам ArsTechnica удалось установить операционную систему Google Fuchsia на хромбук: Fuchsia OS уже можно опробовать самостоятельно7

Некоторые пользователи заметили проблемы в работе функции Android Auto: У некоторых пользователей изображение при использовании Android Auto искажается12

Камера GoPro Fusion теперь поддерживает смартфоны с Android, но лишь 15 моделей: Камера GoPro Fusion получила поддержку Android

Energizer Hardcase H240 — защищённый смартфон в облике обычного мобильного телефона, оснащённый поддержкой LTE: Смартфон Energizer Hardcase H240 не боится воды, пыли, падений и выделяется автономностью 13

Смартфон Vivo с подэкранным сканером отпечатков пальцев будет стоить 625 долларов: Смартфон Vivo с подэкранным сканером отпечатков пальцев представят 25 января9

В Китае смартфоны Samsung Galaxy S9 и S9+ будут продаваться по самой низкой цене в мире: Прием предварительных заказов на Samsung Galaxy S9 и S9+ будет открыт 1 марта32

Meizu продолжит выпускать смартфоны с платформами MediaTek : Смартфоны Meizu с SoC MediaTek никуда не исчезнут2

Защищенный смартфон LG X4+ с SoC Snapdragon 425 и поддержкой LG Pay оценен в $280: Он выделяется защищенным исполнением, отвечающим требованиям военного стандарта MIL-STD-810G11

Sony останется на рынке смартфонов, чтобы не пропустить то, что придёт после них: Sony не собирается уходить с рынка смартфонов49

Смартфон Honor View 10 научился распознавать пользователей по лицам: Пресс-служба Honor, подразделения Huawei, сообщила о выпуске обновления программного обеспечения2

Антимонопольная служба Италии начала проверку компаний Apple и Samsung, связанную с замедлением смартфонов: Samsung Electronics опубликовала официальное заявление, в котором она подтвердила, что никогда не занималась ничем подобным39

В новом патенте Samsung описан полноэкранный смартфон с вырезами в дисплее: Источники считают, что Samsung вполне может использовать такой подход уже в Galaxy Note915

Ferrari выпустит электрический суперкар, чтобы составить конкуренцию Tesla: Сначала Ferrari выпустит автомобили с гибридной силовой установкой40

За управление дроном в нетрезвом состоянии в Нью-Джерси грозит полгода тюрьмы: Аналогичный законопроект в данный момент рассматривается в Великобритании3

Infiniti планирует начать выпуск электромобилей в 2021 году: В 2025 году более половины выпускаемых машин Infiniti будут электромобилями

Обновленный контроллер Xbox Elite получит поддержку Windows 10 и разъем USB-C: Даты выхода у нового геймпада пока нет2

В сентябре Razer анонсирует новый смартфон и коммерческую версию док-станции Project Linda: Razer Project Linda воплотят в серийный продукт11

iXBT TV

  • Обзор автомобиля Mercedes-Benz E 220 d 4Matic All-Terrain Luxury: полноприводный внедорожный универсал

  • Обзор складной гладильной системы MIE Maxima: утюг, отпариватель для одежды и гладильная доска

  • Обзор недорогого Full HD DLP-проектора BenQ W1050 для домашнего кинотеатра

  • Процессор Intel с графикой AMD, экраны любой формы и размера

  • Критическая уязвимость Intel, разбор Apple iMac Pro, Dell XPS 13 стал тоньше

  • Обзор компактной беспроводной колонки JBL Playlist с поддержкой Chromecast

  • Обзор игрового IPS-монитора LG 34UM69G с соотношением сторон 21:9

  • Обзор блока питания Aerocool P7-750W Platinum с гибридной системой охлаждения

  • Apple специально замедляет старые iPhone, VR-революция, крошечный телефон

  • Обзор широкоугольного объектива Canon EF 35 mm F1.4L II USM

  • Обзор робота-пылесоса Kitfort KT-516 со сменными уборочными блоками

  • iMac Pro за $13 000, космический туризм, клавиатурные шпионы от HP

Календарь

апрель
Пн
Вт
Ср
Чт
Пт
Сб
Вс