Еще не успели высохнуть чернила на только что отпечатанных планах Nikon, Canon и на совсем недавно одобренных роадмэпах ITRS, как сегодня голландский холдинг ASML выступил на конференции Semicon (проходящей в Японии) с сенсационным заявлением о готовности начать поставки иммерсионных сканеров уже в этом году (до конца которого осталось-то меньше месяца).
Речь идет о сканере ASML Twinscan XT:1250i, идентичном анонсированному в октябре сканеру Twinscan XT:1250 (65-нм нормы), адаптированном для применения иммерсионных технологий. Сканер использует источник света 193-нм и обладает числовой апертурой оптической системы, равной 0,85. ASML утверждает, что поскольку Twinscan XT:1250i не был разработан специально для применения в иммерсионной литографии, его область применения скорее всего будет сужена до тестовых процессов и выпуска прототипов чипов по новым технологиям.
Так или иначе, но ASML ушла очень далеко от своих конкурентов, Nikon и Canon, ведь они не собираются представлять даже прототипов иммерсионных сканеров ранее второй половины 2004 года. Сегодняшний анонс был неожиданностью не только для конкурентов, но и для партнеров компании, так как компания отказалась от завершения разработки прототипа иммерсионного сканера Twinscan AT:1150i, над которым работала ранее и числовая апертура которого была меньшей – 0,75. Также в прошлом месяце ASML сообщала о планах поставок сканера с числовой апертурой 0,85 не ранее четвертого квартала 2004.
Напомним, что свой иммерсионных сканер с 0,85 апертурой Nikon обещает представить не раньше второго полугодия 2004 года. Правда, у компании в дальнейшем амбициозные планы по достижению числовой апертуры в 0,92 к 2005, и 1,0 к 2006 году. Возможно, конечно, что замутив воду, как переносном, так и прямом смысле (в иммерсионной литографии используется погружение полупроводниковых подложек в воду), ASML лишь пытается найти применение получившимся достаточно дорогими Twinscan XT:1250. Стоимость одного Twinscan XT:1250 составляет порядка 20 млн. долларов, и, наверное, цена Twinscan XT:1250i наверняка не меньше.
Первым клиентом компании, разместившим заказ на Twinscan XT:1250i, стала тайваньская компания TSMC, одна из крупнейших мировых "кузниц" полупроводниковых микросхем.