Казалось бы, иммерсионная литография смогла продемонстрировать убедительные успехи и потрясающие возможности по использованию существующего литографического оборудования. Однако, до сих пор ведущие производители полупроводниковых микросхем были весьма осторожны в своих высказываниях, не скрывая своего скепсиса, и только IBM во всеуслышание объявила о включении иммерсионных технологий в свой роадмэп. Вчера многие западные СМИ уже чуть ли не кричали о том, что компания выпустила первый микропроцессор с использованием иммерсионных технологий, празднуя коммерческое внедрение иммерсионных технологий. Сегодня стали известны некоторые подробности, о которых мы не можем не рассказать.
Итак, первым «иммерсионным» микропроцессором стал 64-разрядный чип Power 4, выпущенный в лаборатории Albany Nanotech с использованием иммерсионного сканера Twinscan AT:1150i производства ASML. И хотя IBM говорит о том, что это первый факт использовании иммерсионных технологий для успешного производства, все-таки о коммерческом внедрении говорить рановато, если, конечно, IBM не планирует массово продавать чипы, созданные в лабораториях. Поэтому, говоря о коммерческом выпуске, компания хитрит в том смысле, что Power 4 действительно массово выпускаются, но по «сухой» технологии. С другой стороны, нельзя не отметить, что созданные в Albany Nanotech 300-мм полупроводниковые пластины успешно прошли дальнейшую обработку на заводе в East Fishkill – на основной производственной базе IBM.
Говорить о коммерческом внедрении иммерсионной технологии преждевременно еще и потому, что Twinscan AT:1150i не является производственным инструментом, а лишь прототипом, созданным ASML для тестирования технологии. А единственной компанией, сделавшей в ASML заказ на сканер Twinscan XT:1250i, предназначенный для производства, является… TSMC (Taiwan Semiconductor Manufacturing Co.).