Итак, похоже, что пан-европейский технологический проект NaPa, начатый в прошлом году, начал приносить первые результаты: компания Suss MicroTec AG представила первый литографический инструмент для (нано-)импринт-литографии. Инструмент, названный NPS300 NanoPatterning Stepper, был создан в результате однолетнего совместного проекта Sixth Framework совместно с финским научно-исследовательским центром VTT Microelectronics Center. В то же время, как уже было сказано выше, Suss принимает участие в четырехлетнем проекте NaPa.
Для создания литографических рисунков NPS300 использует метод печати на термопластический материал с дальнейшей обработкой ультрафиолетовым излучением. Suss позиционирует новинку как недорогую альтернативу электронно-лучевой литографии для норм 20 нм.
Сообщается, что NPS300 позволяет создавать рельефные рисунки размером до 20 нм в «холодном» (UV-NIL) и «горячем» режимах. Пишущая головка может позиционироваться с точностью 250 нм и позволяет воспроизводить рисунки размером до 100 нм с толщиной линий от 6,5 нм. Сила нажатия составляет от 5 до 4000 Н, активная область – от 40х40 мм в «холодном» и 100х100 в «горячем» режимах.