Компания Encapsulix, специализирующаяся на оборудовании для атомно-слоевого осаждения (ALD), представила систему Infinity 200. Напомним, технология ALD основана на последовательных химических реакциях между подложкой и парообразными соединениями, в результате которых на подложке формируется тонкая пленка.
Как утверждается, новая система, рассчитанная на 200-миллиметровые подложки (2,5G), оптимизирована для низкотемпературного осаждения тонких пленок на гибких электронных изделиях, особенно, дисплеях OLED. Система Encapsulix Infinity 200 предназначена для использования в НИОКР и производстве.
Первая система Infinity 200 уже установлена и опробована в техпроцессе скоростной инкапсуляции OLED в исследовательском институте CEA-Leti во Франции. Следующие системы, по словам производителя, будут отгружены в течение ближайших 12 месяцев неназванным заказчикам в Юго-Восточной Азии.
Источник: BALD Engineering, Encapsulix