Компания ASML показала источник излучения мощностью 250 Вт для литографии в жестком ультрафиолетовом диапазоне
За пять лет мощность источника EUV-излучения удалось увеличить на порядок
Отрасль наконец-то вплотную приблизилась к внедрению в серийном производстве литографии в жестком ультрафиолетовом диапазоне (EUV), перспективной при переходе к более тонким нормам техпроцесса. Разработки в этой области ведутся давно, но одним из камней преткновения оставался источник излучения. Точнее говоря, отсутствие источника, мощности которого было бы достаточно для обеспечения производительности, характерной для массового производства.
Похоже, это препятствие устранено. На этой неделе компания ASML, выпускающая оборудование для полупроводникового производства, продемонстрировала на тематической выставке Semicon West источник EUV-излучения мощностью 250 Вт.
Как утверждается, такой источник позволит обрабатывать 125 пластин в час.
Представление о темпах разработки дает следующий факт: в 2012 году был продемонстрирован источник EUV мощностью 25 Вт.
По оценке ASML, одна установка для EUV-литографии будет стоить не менее 100 млн долларов. Однако ее эксплуатация экономически более оправдана по сравнению с иммерсионной литографией с тремя или четырьмя шаблонами.
Компании Intel, Samsung, TSMC и Globalfoundries планируют внедрить литографию EUV в массовом производстве в течение ближайших двух лет.
Источник: CDR info
14 июля 2017 Г.
21:01
Accent
Все новости за сегодня
15:16
iPhone SE2 и iPhone 8 — смартфоны, которыми пользователи устройств Apple довольны больше всего. Свежий рейтинг AnTuTu . А на первом месте теперь iPad Air 4
15:13
Intel доигралась и больше не будет заставлять свои процессоры работать на сверхвысоких частотах? Core Ultra 9 285K приписывают частоту 5,5 ГГц . Против 6,2 ГГц у Core i9-14900KS
14:53
Учёные создали энергонезависимую память, работающую при температуре в 600 градусов . Это масштабируемая сегнетоэлектрическая энергонезависимая память
14:45
Покупатели «сбежали» от Apple и Samsung к Huawei и Xiaomi. Статистика рынка планшетов за прошлый квартал оказалась довольно неожиданной . При этом рынок в целом почти не изменился за год
14:31
У автомобилей Hyundai вновь проблемы с моторами: объявлен отзыв . Отзывают три модели: Hyundai Elantra, Venue и Kona
14:16
Европейские пограничники не хотели пропускать Tesla Cybertruck в Россию, так как увидели в машине «скрытый военный потенциал» . Еще два Cybertruck застряли на белорусско-литовской границе
14:10
То есть грядущие процессоры Intel Arrow Lake будут актуальны менее года? Компания собирается сменить их поколением Panther Lake уже в середине 2025 года . Но неясно, в каком сегменте первоначально
14:01
В Китае оформили уже 30 000 заказов на новейший кроссовер Li Auto L6, а в России он уже подешевел . Теперь цена заметно ниже 5 млн рублей
14:01
Можно выделить браузеру только 1 ГБ ОЗУ. Функция работы с оперативной памятью браузера Edge появилась в бета-версии ПО . До этого она была только в сборке Canary
13:36
Вот почему «Гелендваген» — легенда: 80% всех выпущенных машин по-прежнему на ходу. Mercedes-Benz G-класса оказался долговечнее Porsche 911 . «У машины очень долгий срок службы», — сказал генеральный директор AMG и глава бизнес-подразделений G-Class и Maybach
13:36
Белая видеокарта с ярко-синими «глазами». Представлен адаптер Emtec GeForce RTX 4060 Miracle . Кроме цвета и подсветки он ничем не выделяется
13:18
Флагманский компактный камерофон за 500 долларов с семью годами обновлений Android. Появились новые подробности о Pixel 8a . Анонс уже 14 мая
13:04
Samsung откажется от GPU AMD. Платформа Exynos 2600 может получить графическое ядро собственной разработки корейского гиганта . Подробностей пока нет
12:12
65 дюймов, 4К, 144 Гц, подсветка Mini-LED — за 510 долларов. Стартовали продажи 65-дюймового телевизора TCL Thunderbird 2024 Crane 6 Pro TV . Максимальная яркость 1300 кд/кв.м. и встроенная акустическая система формата 2.1
11:45
Так снимает Vivo X100 Ultra с уникальным телеобъективом. Примеры фото и новые подробности о камере . Помимо датчика огромного разрешения будет один из самых светосильных объективов
11:20
Надежный «японец» по цене ниже 2 млн рублей. Названа актуальная стоимость Suzuki Swift в России . Разброс цен на эти машины у продавцов минимальный
11:06
Возвращение легенды. Nokia 3210 2024 со «Змейкой» и съемным аккумулятором поступит в продажу 15 мая . А предзаказы начнут принимать 8 мая
10:45
132 л.с. и 6-ступенчатый «автомат» — за 1,86 млн рублей. В Россию привезли новые седаны Chevrolet Onix . Это альтернатива и Lada Vesta, и Hyundai Solaris (Solaris HS)
07:49
«Нам нужно как-то оплачивать счета». Илон Маск анонсировал увеличение запаса хода Tesla Model Y при помощи обновления за $1500-2000 . На 65-95 км
07:37
Tank 700 Hi4-T сравнили с Rolls Royce Cullinan, сравнение оказалось не в пользу последнего. Глава Great Wall Motor поработал продавцом в новом магазине . Он взял пример с Лэй Цзюня из Xiaomi
07:28
Что Xiaomi скопировала у Tesla: подробности о гигакастинге по-китайски. Компания сможет выпускать по машине каждые 76 секунд . На заводе работает более 700 роботов
07:19
Названы самые ненадёжные автомобили Toyota: в 2024 году, за последние 20 лет и за всю историю . По данным JD Power и Consumer Reports
07:04
Антироссийские санкции обернулись против Boeing: производство самолётов снизится . Ранее было закрыто СП по произвдоству теплообменников для системы кондиционирования
00:25
Voyah удивит. Автомобили Voyah первыми в мире получат выдвижной изогнутый OLED-экран . Он станет частью нового «умного кокпита»
00:10
24 года спустя. Honda Prelude вернется в 2025 году с силовой установкой от Honda Accord . Prelude не станет самым мощным купе в своей категории