Китай начал серийный выпуск собственных DUV-литографов: первый серьёзный вызов монополии ASML

Китай сделал важный шаг на пути к технологической независимости в полупроводниковой отрасли. По данным The Information, государственная компания из Шанхая приступила к серийному производству собственных иммерсионных DUV-литографических установок — оборудования, которое является основой для выпуска большинства современных микросхем.

До сих пор мировой рынок подобных систем практически полностью контролировала нидерландская ASML. Именно её установки использовались китайскими заводами после того, как доступ к более современным EUV-сканерам оказался закрыт из-за экспортных ограничений США и их союзников. Теперь у местных производителей может появиться отечественная альтернатива.

По информации The Information, первые установки уже в этом году должны получить крупнейшие китайские производители микросхем, включая SMIC, Hua Hong Semiconductor и ChangXin Memory Technologies. Впрочем, объёмы производства пока останутся весьма скромными: до конца года планируется выпустить около пяти машин, а в 2027 году — примерно двадцать. Для сравнения, ASML только за прошлый год поставила 131 иммерсионную DUV-систему.

Эксперты отмечают, что китайские установки пока уступают продукции ASML по точности, надежности и качеству исполнения. Перед началом полноценной эксплуатации оборудование должно пройти длительный цикл испытаний непосредственно на производственных линиях заказчиков. На устранение возможных недостатков и оптимизацию работы могут уйти многие месяцы.

Тем не менее сам факт запуска серийного производства имеет большое стратегическое значение. После введения экспортных ограничений в 2022 году Пекин значительно ускорил программу импортозамещения в сфере литографического оборудования, объединив усилия государственных институтов, производителей компонентов и крупнейших технологических компаний. Сообщается, что новые DUV-системы в основном используют комплектующие китайского производства, хотя часть наиболее сложных узлов по-прежнему поставляется из Японии.

Новость уже отразилась на рынке. После публикации отчета акции ASML потеряли более 7%, а бумаги ряда других компаний, связанных с производством оборудования для полупроводниковой промышленности, также заметно снизились. Инвесторы опасаются, что в долгосрочной перспективе Китай сможет постепенно заместить импорт даже в столь сложном сегменте, как литографические системы.

При этом говорить о скорой смене лидера пока преждевременно. Даже если китайские DUV-установки подтвердят заявленные характеристики, им потребуется несколько лет, чтобы выйти на сопоставимые объемы производства и уровень надежности продукции ASML. Кроме того, разработка собственного EUV-литографа в Китае все еще находится на стадии прототипов, поэтому наиболее передовые техпроцессы пока остаются недостижимыми без зарубежных технологий.

Источник: The Information