ASML представляет Twinscan XT:1400: иммерсионный сканер для массового производства

1174

На торговой выставке Semicon Europa компания ASML наконец-то представила свои 193-нм литографические инструменты, обеспечивающие выпуск полупроводниковых интегральных микросхем по нормам 65 нм как с применением иммерсии (погружения в воду), так и без таковой.

Сканер ASML Twinscan XT:1400 обладает высокой числовой апертурой, благодаря чему он может «легким движением руки» превратиться в иммерсионный инструмент. Точнее, с помощью специального "immersion conversion kit." Система предназначена для использования в массовом производстве по 65-нм нормам, а также с ее помощью можно будет создавать прототипы 45-нм чипов. «Сухая» версия сканера будет доступна в декабре 2004 года, иммерсионная – в конце 2005.

Таким образом, XT:1400 станет иммерсионным сканером третьего поколения. Первый, 1150i, являлся прототипом нового класса устройств, а XT:1250i не предназначался для массового выпуска чипов. XT:1400 поставляется с набором программных и аппаратных средств Ultra-k1.

Тем временем конкуренты ASML, Canon и Nikon, также собираются представить в скором будущем свои иммерсионные системы. Правда, нынешняя Canon AS-3i пока способна создавать лишь 90-нм прототипы, а годный для массового производства новый сканер с числовой апертурой около 1,0 появится лишь к концу 2005 или началу 2006 года. Nikon же собирается запустить в серию свой степпер на ArF-оптике к концу 2005 – компания решила «пропустить» этап вывода на рынок устройств с апертурой 0,92, и ее коммерческий степпер будет обладать числовой апертурой 1,0. Nikon надеется опередить всех по этому показателю и обеспечить возможность массового производства по 60-нм номам к концу 2005 года.

21 апреля 2004

14:49

Ctrl
ПредыдущаяСледующая

Все новости за сегодня

Компания Jawbone Health Hub собиралась сотрудничать с Microsoft, чтобы заполучить её корпоративных клиентов : Стали известны планы компании Jawbone Health Hub

29 августа MediaTek представит однокристальные системы Helio P23 и Helio P30 : SoC Helio P23 и Helio P30 анонсируют через две недели2

Galax Graphics Card Power Board — внешняя плата для экстремального разгона видеокарт, оснащённая 16-фазной подсистемой питания: Galax представила плату Graphics Card Power Board и стакан для жидкого азота

Здравоохранение станет основным фактором роста рынка носимой электроники в ближайшем будущем: Рынок носимой электроники будет расти за счёт медицинских возможностей1

Сервис CyberLink PerfectCam накладывает макияж на лицо абонента во время видеосвязи: Сервис CyberLink PerfectCam совместим со Skype, Skype for Business, Google Hangouts и CyberLink U 11

Эксперты Strategy Analytics назвали самый продаваемый смартфон по итогам минувшего квартала: Всего за квартал было продано 360,4 млн смартфонов38

На выпуск объектива Biotar 75/f1.5 уже собрано более $300 000 : Один объектив Biotar 75/f1.5 стоит $94917

Производитель называет Alphacool Eisbaer 420 самой большой готовой системой жидкостного охлаждения: Радиатор Alphacool Eisbaer 420 изготовлен из меди4

Маршрутизатор ASRock X10 предназначен для умного дома: Маршрутизатор ASRock X10 поддерживает протоколы IoT 12

ВИКТОРИНА ASUSTOR

Процессор с какой архитектурой установлен в ASUSTOR AS6302T, благодаря которому производительно выросла на 30% по сравнению с прошлым поколением?
1318

iXBT TV

  • AMD Ryzen Threadripper 1920Х и 1950X — тестирование 12-ядерного и 16-ядерного процессоров

  • Обзор мини-ПК ECS Liva Z на базе процессора Apollo Lake

  • Самый лучший процессор, неудачи Microsoft, гибкие наушники Samsung

  • Обзор цветного МФУ Xerox VersaLink C405 для малых и средних офисов

  • Обзор умного чайника Redmond SkyKettle RK-G200S с подсветкой и нагревом воды до нужной температуры

  • Конфигурируем мини-ПК: изучаем влияние памяти и накопителя на быстродействие системы

  • 3D-карты AMD Radeon RX Vega, цены, спецификации, смартфон Meizu Pro 7

  • Обзор лазерного цветного МФУ Canon imageRunner Advance C3520i, младшего в новой линейке

  • Обзор робота-пылесоса iBoto Aqua V710 с функцией влажной уборки

  • Обзор электрической скороварки Unit USP-1090D: готовим под давлением

  • Обзор материнской платы Gigabyte GA-Z270-Gaming K3 c возможностью подъема напряжения на USB-портах

  • Обзор комплекта модулей памяти DDR4 Corsair Vengeance RGB с настраиваемой подсветкой

1212

Календарь

апрель
Пн
Вт
Ср
Чт
Пт
Сб
Вс

Рекомендуем почитать