А кто ещё кроме них делает зеркала для асмл?
https://www.zeiss.com/semiconductor-manufacturing-technology/smt-magazine/euv-lithography-as-an-european-joint-project.html
https://www.asianometry.com/p/how-carl-zeiss-crafted-a-house-of
А зеркала не относятся к оптике?
Рентгеновские зеркала для asml делает zeiss
https://www.asml.com/en/technology/lithography-principles/lenses-and-mirrors
https://www.zeiss.com/semiconductor-manufacturing-technology/smt-magazine/euv-lithography-as-an-european-joint-project.html
https://www.asianometry.com/p/how-carl-zeiss-crafted-a-house-of
Рентгеновские зеркала для asml делает zeiss
https://www.asml.com/en/technology/lithography-principles/lenses-and-mirrors