Мы используем файлы cookie и сервисы аналитики. Ознакомьтесь с нашей Политикой сбора данных и выберите, какие типы cookie вы разрешаете:
cookie_policy_accepted — хранит ваш выбор cookiePHPSESSID — сессияkey3 — запоминание входа_ix — единая сессия входа на ixbt.comadminuserskey — вход администратораtopic_add_autosave — автосохранение черновикаls_photoset_target_tmp — временные данные загрузки фотоgeo_country — определяет ваш регион_ga, _ga_*, _ym_uid, _ym_d, _ym_* — статистика посещений__gads, __gpi — таргетирование объявленийВы всегда можете изменить свои предпочтения в настройках.
Институте физики микроструктур РАН (ИФМ РАН) получе-
ны значительные научно-практические результаты в области
EUV-литографии на λ=13,5 нм для реализации наноструктур
с минимальными размерами 22 нм и ниже [6–14]. Работы
выполнены с участием ASML, Института спектроскопии РАН
(ИС РАН) и ГНЦ РФ «Троицкий институт инновационных и
термоядерных исследований» (ТРИНИТИ). В Троицке разра-
батывают источник излучения для EUV-литографии на осно-
ве разряда в парах олова, инициируемого лазером, между
вращающимися дисковыми электродами (discharge-produced
plasma – DPP) [15–17]. Заметим, что фирма Cymer (Сан-Дие-
го, США) поставляет фирме ASML EUV-источник на базе плаз-
мы, создаваемой лазерным излучением, сфокусированным
на капельках олова (laser-produced plasma –LPP). При этом ее
интерес к разработкам DPP-источников фирмы Philips Xtreme
(Йена, Германия) не ослабевает [18]
https://www.photonics.su/journal/article/2488
Ты лазеры чуток перепутал и технологии, а dpp умер так нормально и не родившись
Cymer was founded in 1986 by Robert P. Akins and two other researchers who left a San Diego military contractor to find industrial uses for the lasers they had worked on for the ''Star Wars'' program.
https://www.nytimes.com/1997/10/26/business/investing-it-a-laser-maker-tries-to-avoid-the-beams.html
И где же эти патенты в открытом доступе с полными даташитами? Можно ссылочку, китайцы просят
Единственное, что у них есть из россии это рентген аппарат для метрологии сделанный в ран, все учёные участвовавшие в этом давно свалили в Нидерланды
Это неучитывая других подрядчиков из сша
Cymer используют технологии созданные в рамках программы СОИ или «звёздные войны», т.е. все патенты принадлежат государству.