Иммерсионные сканеры ASML Twinscan XT:1250i доступны уже в этом году

ПредыдущаяСледующая
1174

Еще не успели высохнуть чернила на только что отпечатанных планах Nikon, Canon и на совсем недавно одобренных роадмэпах ITRS, как сегодня голландский холдинг ASML выступил на конференции Semicon (проходящей в Японии) с сенсационным заявлением о готовности начать поставки иммерсионных сканеров уже в этом году (до конца которого осталось-то меньше месяца).

Речь идет о сканере ASML Twinscan XT:1250i, идентичном анонсированному в октябре сканеру Twinscan XT:1250 (65-нм нормы), адаптированном для применения иммерсионных технологий. Сканер использует источник света 193-нм и обладает числовой апертурой оптической системы, равной 0,85. ASML утверждает, что поскольку Twinscan XT:1250i не был разработан специально для применения в иммерсионной литографии, его область применения скорее всего будет сужена до тестовых процессов и выпуска прототипов чипов по новым технологиям.

Так или иначе, но ASML ушла очень далеко от своих конкурентов, Nikon и Canon, ведь они не собираются представлять даже прототипов иммерсионных сканеров ранее второй половины 2004 года. Сегодняшний анонс был неожиданностью не только для конкурентов, но и для партнеров компании, так как компания отказалась от завершения разработки прототипа иммерсионного сканера Twinscan AT:1150i, над которым работала ранее и числовая апертура которого была меньшей – 0,75. Также в прошлом месяце ASML сообщала о планах поставок сканера с числовой апертурой 0,85 не ранее четвертого квартала 2004.

Напомним, что свой иммерсионных сканер с 0,85 апертурой Nikon обещает представить не раньше второго полугодия 2004 года. Правда, у компании в дальнейшем амбициозные планы по достижению числовой апертуры в 0,92 к 2005, и 1,0 к 2006 году. Возможно, конечно, что замутив воду, как переносном, так и прямом смысле (в иммерсионной литографии используется погружение полупроводниковых подложек в воду), ASML лишь пытается найти применение получившимся достаточно дорогими Twinscan XT:1250. Стоимость одного Twinscan XT:1250 составляет порядка 20 млн. долларов, и, наверное, цена Twinscan XT:1250i наверняка не меньше.

Первым клиентом компании, разместившим заказ на Twinscan XT:1250i, стала тайваньская компания TSMC, одна из крупнейших мировых "кузниц" полупроводниковых микросхем.

3 декабря 2003 Г.

16:29

Ctrl
ПредыдущаяСледующая

Все новости за сегодня

В Денвере хотят построить сеть наземных тоннелей, схожих по своей идее с теми, что строит The Boring Company: В Денвере построят наземный аналог тоннелей The Boring Company17

Компания Wal-Mart уже заказала 15 грузовиков Tesla Semi: Компания Wal-Mart серьёзно заинтересовалась электрическими грузовиками Tesla Semi38

Производство гибких панелей AMOLED опережает спрос: Популярность экранов 18:9 сказалось на спросе на гибкие панели AMOLED3

Простой патч для одной из современных игр позволил повысить производительность Radeon RX Vega 64 на 22%: Radeon RX Vega 64 после патча для Wolfenstein II: The New Colossus обгоняет GTX 1080 Ti16

Tesla выпустила свой портативный аккумулятор для смартфонов: Tesla Powerbank стоит 45 долларов19

E Ink отметила рост всех основных финансовых показателей: E Ink показала отличные финансовые результаты

Компания Broadcom завершила покупку компании Brocade Communications Systems: Новый владелец планирует разделить Brocade

Начало продаж Apple HomePod отложено: Умная АС Apple появится на рынке в 2018 году64

Анонсирован выпуск карты для работы с видео Blackmagic DeckLink 8K Pro: Карта Blackmagic DeckLink 8K Pro предназначена для захвата и вывода видео в разрешении до 8K DCI6

Samsung SM-W2018 может стать первым смартфоном с камерой, объектив которой имеет диафрагму F/1,5: Смартфон будет представлен в Китае 1 декабря этого года19

Представлена клавиатура Zagg Slim Book для iPad Pro с подсветкой клавиш и местом для Apple Pencil: Цена устройства составляет 120 долларов2

OnePlus 5T получит обновление Android 8.O Oreo в начале 2018 года: Разработчики решили изначально оснастить его Android 7.1.1 Nougat5

В понедельник Toshiba примет решение о привлечении зарубежных инвестиций в размере 5 млрд долларов: Эти средства должны помочь Toshiba удержаться на бирже1

По прогнозу DSCC, рынок материалов OLED в ближайшие годы будет расти на 20% в год: К 2022 году он достигнет 2,25 млрд долларов

Опубликован эскиз безрамочного смартфона 360 Mobiles: Компания будет придерживаться устоявшейся традиции, предлагая пользователям смартфоны с впечатляющими характеристиками по привлекательным ценам3

997
1318

iXBT TV

  • Обзор аккумуляторной дрели-шуруповерта Bosch GSR 12V-15 FC Professional

  • Заводские экзоскелеты, обновление Firefox, слишком умные наушники

  • Репортаж с конференции Supercomputing 2017 (SC17), день 3: стенд группы компаний РСК

  • Репортаж с конференции Supercomputing 2017 (SC17), день 2: стенд Intel

  • Репортаж с конференции Supercomputing 2017 (SC17), день 1: рейтинг Top500

  • Обзор кинотеатрального DLP-проектора LG PF1000U со встроенным ТВ-тюнером

  • Камера Panasonic G9, унитазный робот, игровой смартфон, кепка для водителей

  • Обзор портативной беспроводной колонки Sven PS-460

  • Обзор напольного пылесоса Tefal Silence Force 4A TW6477 с одноразовыми мешками для сбора мусора

  • Обзор сверхширокоугольного зум-объектива Canon EF 16-35mm f/2.8L III USM

  • Обзор изогнутого 34-дюймового IPS-монитора LG 34UC99 с соотношением сторон 21:9 и белым корпусом

  • Обзор робота-пылесоса Philips SmartPro Active (FC8822/01) с широкой насадкой TriActive XL

1212

Календарь

декабрь
Пн
Вт
Ср
Чт
Пт
Сб
Вс

Рекомендуем почитать