Главная » Новости » 2003 » 12 » 02 2 декабря 2003

Nikon начнет продажи иммерсионных сканеров в 2006 году

Nikon сообщает, что собирается выпустить на рынок первые иммерсионные продукты к 2006 году. Два основных конкурента Nikon, ASML и Canon, уже объявили о своих планах в прошедшем месяце.

Компания собирается построить работающий прототип иммерсионного сканера во второй половине 2004 года, чтобы дать возможность крупнейшим клиентам ознакомиться с его функциональностью. Прототип, намеченный на 2004 год, будет построен на основе 193-нм сканера с измененной числовой апертурой – 0,85.

К 2005 году Nikon намеревается начать поставки бета-версии продукта своим клиентам для дальнейшего ознакомления и тестирования на местах. Бета-версия иммерсионного сканера должна будет обладать числовой апертурой порядка 0,92. Наконец, к 2006 году компания обещает начать продажи полностью функционального инструмента с числовой апертурой не менее 1,0.

Технологии иммерсионной литографии Nikon разрабатывала совместно с Tokyo Electron с июня прошлого год. В технологии двух компаний планируется использовать слой специальным образом очищенной воды толщиной 1 мм, преобразующий эффективную длину волны 193-нм источника в 135-нм.

И, если все благополучно, в 2007 году можно ожидать начала внедрения производства по 45-нм нормам, как это, кстати, и запланировано в последних планах Intel.

Источник: Parasound

13:27 02.12.2003
Оценить новость

Не работают комментарии или голосования? Читайте как почистить куки



ОПРОС Micromax

С какой периодичностью вы меняете смартфоны?
декабрь
Пн
Вт
Ср
Чт
Пт
Сб
Вс
2003

Нашли ошибку на сайте? Выделите текст и нажмите Shift+Enter

Код для блога бета

Выделите HTML-код в поле, скопируйте его в буфер и вставьте в свой блог.