SPIE: новинки EUV литографии от ASET

1174

На конференции SPIE Microlithography группа японских разработчиков сообщила о завершении разработки прототипа литографического инструмента, построенного на основе технологии EUV (extreme ultraviolet, жесткий ультрафиолет). Ассоциация передовых технологий электроники (Association of Super-Advanced Electronics Technologies, ASET), утверждает, что система, построенная с применением EUV, позволит создавать интегральные микросхемы с размером элемента вплоть до 35 нм (0,035 мкм).

Сейчас разработчики завершают намеченную программу создания фотошаблонов, систем метрологии и калибровки, фоторезистов и лазеров для EUV-литографии. Если совершить небольшой экскурс в истории, то можно вспомнить, что в конце прошлого года ASET, при поддержке правительства и некоторых компаний, создала специальную группу для поддержки EUV в Японии, в которую, кстати, вошли Canon и Nikon. И неважно, явилось ли столь быстрое завершение работ результатом помощи ASET или напряженной работой исследователей (а начались исследования более двух лет назад, и первые EUV-инструменты были предназначены для 70-нм техпроцессов), но плод этих усилий вполне ощутим и в скором будущем мы увидим EUV-литографические системы.

Пока что ASET лишь сообщила о завершении разработки и не представила результатов тестирования. Кроме того, когда они появятся, EUV грозит судьба быть всецело захваченной какой-нибудь "хищной акулой бизнеса", так как ASET не имеет четких планов на будущее своего детища. "Мы занимаемся исключительно исследованиями" - сообщили они репортерам.

Что же касается Canon и Nikon, то сейчас они работают над метрологическими и калибровочными средствами для EUV-литографии, а Gigaphoton, совместное предприятие Komatsu и Ushio, работает над созданием ультрафиолетовых лазеров для EUV.

8 марта 2002

03:02

Ctrl
ПредыдущаяСледующая

Все новости за сегодня

Разные фабрики выпускают отличающиеся друг от друга GPU Vega 10: GPU Vega 10 существует в нескольких вариантах

Игровой ноутбук HP Omen X позволяет легко модернизировать начинку и заниматься разгоном: В продажу новинка поступит в ноябре2

ПК Dell Alienware Area 51 теперь можно купить с одним из трёх процессоров Intel Skylake-X: Dell обновила Alienware Area 51

Персональный помощник Samsung Bixby запущен в 200 странах мира, но пока понимает всего два языка: Пользователи Galaxy S8 и S8+ могут активировать Bixby нажатием соответствующей кнопки или командой Hi, Bixby8

PNY не увеличила видеокарте GeForce GTX 1060 XLR8 Gaming OC частоту памяти: PNY представила GeForce GTX 1060 XLR8 Gaming OC

Google готовится выпустить новый хромбук и уменьшенную версию домашнего помощника Home: Google выпустит новый Chromebook Pixel

Фронтальная 3D-камера iPhone 8 опередила конкурентов на два года: Все комплектующие фронтальной камеры Apple будут производиться TSMC29

Партнёр Lenovo опубликовал снимки и параметры смартфона Moto X4 до официального анонса: Moto X4 может в итоге не получить защиты от воды

Рекламный ролик смартфона Huawei Mate 10 сфокусирован на сдвоенной камере Leica: Цена Huawei Mate 10 составит около 1100 долларов3

Смартфон Sharp FS8008 является новой версией Sharp Aquos S2 с уменьшенным экраном: Основная камера получила два 12-мегапиксельных датчика изображения

Micromax Canvas Infinity — смартфон с дисплеем 18:9, ОС Android 7.1.2 и ценой в 155 долларов: Смартфон Micromax Canvas Infinity оснастили 3 ГБ ОЗУ

Huawei покажет свой процессор с системой ИИ 2 сентября: Данный процессор будет входить в состав SoC Kirin 9702

Samsung планирует снизить зависимость от Qualcomm уже в смартфоне Galaxy S9: Традиционно Samsung использует однокристальные системы Qualcomm примерно для половины своих флагманских смартфонов серии Galaxy S9

Экран смартфона Elephone S8 занимает 92,4% площади лицевой панели: Цена новинки составляет 280 долларов4

Опубликованы реальные фотографии смартфона Meizu M6 Note: Анонс новинки ожидается завтра

Смартфон Alcatel U5 HD относится к бюджетному сегменту: Cмартфон сохранит пятидюймовый дисплей, разрешение которого было повышено с 854 х 480 до 1280 х 720 пикселей

Появились изображения упаковок настольных процессоров Intel Core i5 и Core i7 восьмого поколения. Core i3 пока ждать не стоит: CPU Intel Core i5 и Core i7 восьмого поколения будут оснащены GPU UHD Graphics 63013

На передней панели корпуса Gigabyte Aorus AC300W разместилось шесть разъёмов : Gigabyte представила корпус Aorus AC300W с подсветкой 5

1318

iXBT TV

  • Обзор видеоускорителя AMD Radeon RX Vega 64

  • Обзор легкой, компактной и дешевой мясорубки Kitfort KT-2101 Carnivora

  • Обзор беззеркальной фотокамеры Fujifilm X-T20

  • Обзор кинотеатрального DLP-проектора BenQ W11000 с эмуляцией разрешения 4К

  • AMD Ryzen Threadripper 1920Х и 1950X — тестирование 12-ядерного и 16-ядерного процессоров

  • Обзор мини-ПК ECS Liva Z на базе процессора Apollo Lake

  • Самый лучший процессор, неудачи Microsoft, гибкие наушники Samsung

  • Обзор цветного МФУ Xerox VersaLink C405 для малых и средних офисов

  • Обзор умного чайника Redmond SkyKettle RK-G200S с подсветкой и нагревом воды до нужной температуры

  • Конфигурируем мини-ПК: изучаем влияние памяти и накопителя на быстродействие системы

  • 3D-карты AMD Radeon RX Vega, цены, спецификации, смартфон Meizu Pro 7

  • Обзор лазерного цветного МФУ Canon imageRunner Advance C3520i, младшего в новой линейке

1212

Календарь

март
Пн
Вт
Ср
Чт
Пт
Сб
Вс

Рекомендуем почитать