SPIE Microlithgraphy: ASML, Canon и Nikon считают иммерсионную литографию перспективной

1174

Вчера на конференции SPIE Microlithgraphy корпорации ASML, Canon и Nikon доложили о первых шагах в освоении технологии, которая, по их совместному мнению, может стать революционной - иммерсионной (immersion – англ. погружение) литографии.

Первый доклад озвучили сотрудники RIT (Rochester Institute of Technology), сообщив о том, что по заказу ASML успешно разработали два иммерсионных сканера, позволяющих создавать 70-нм рисунки.

Следующей аудиторию SPIE удивила Nikon, сообщив о том, что располагает данными о возможности использования иммерсионной технологии в 193-нм сканерах, что позволяет создавать чипы по 65-нм нормам.

Чтобы не отстать от своих конкурентов, Canon также заявила о том, что создала рабочую группу по разработке иммерсионных инструментов в сотрудничестве с Sematech.

Иммерсионная литография интересна тем, что теоретически может позволить продлить жизненный цикл 193-нм сканеров до 45-нм норм, составив, таким образом, серьезную конкуренцию 157-нм и коротковолновым EUV-сканерам. Однако если все окажется так же хорошо, как расписывают компании, есть мнение, что 157-нм сканеры вместе с иммерсионной технологией позволят создавать чипы по 32-нм нормам (если не ошибаюсь, это всего лишь на порядок больше квантового ограничения на размер элемента в кремнии).

28 февраля 2003

11:31

Ctrl
ПредыдущаяСледующая

Все новости за сегодня

Huawei выпустит новый флагманский смартфон в двух версиях: Mate 10 и Mate 10 Pro: Huawei Mate 10 получит обычный экран, а Mate 10 Pro — более вытянутый 1

APU игровой приставки Xbox One X называется Scorpio Engine и состоит из 7 млрд транзисторов: Microsoft рассказала о процессоре Scorpio Engine22

Google работает над собственными наушниками с поддержкой Assistant: Google выпустит наушники с поддержкой голосового помощника13

Разные фабрики выпускают отличающиеся друг от друга GPU Vega 10: GPU Vega 10 существует в нескольких вариантах12

Игровой ноутбук HP Omen X позволяет легко модернизировать начинку и заниматься разгоном: В продажу новинка поступит в ноябре11

ПК Dell Alienware Area 51 теперь можно купить с одним из трёх процессоров Intel Skylake-X: Dell обновила Alienware Area 516

Персональный помощник Samsung Bixby запущен в 200 странах мира, но пока понимает всего два языка: Пользователи Galaxy S8 и S8+ могут активировать Bixby нажатием соответствующей кнопки или командой Hi, Bixby19

PNY не увеличила видеокарте GeForce GTX 1060 XLR8 Gaming OC частоту памяти: PNY представила GeForce GTX 1060 XLR8 Gaming OC1

Google готовится выпустить новый хромбук и уменьшенную версию домашнего помощника Home: Google выпустит новый Chromebook Pixel

ОПРОС GOODRAM

Установлен ли в вашем компьютере SSD накопитель?
1318

iXBT TV

  • Электро-Maybach, топовая Nokia и действительно оригинальный смартфон

  • Обзор видеоускорителя AMD Radeon RX Vega 64

  • Обзор легкой, компактной и дешевой мясорубки Kitfort KT-2101 Carnivora

  • Обзор беззеркальной фотокамеры Fujifilm X-T20

  • Обзор кинотеатрального DLP-проектора BenQ W11000 с эмуляцией разрешения 4К

  • AMD Ryzen Threadripper 1920Х и 1950X — тестирование 12-ядерного и 16-ядерного процессоров

  • Обзор мини-ПК ECS Liva Z на базе процессора Apollo Lake

  • Самый лучший процессор, неудачи Microsoft, гибкие наушники Samsung

  • Обзор цветного МФУ Xerox VersaLink C405 для малых и средних офисов

  • Обзор умного чайника Redmond SkyKettle RK-G200S с подсветкой и нагревом воды до нужной температуры

  • Конфигурируем мини-ПК: изучаем влияние памяти и накопителя на быстродействие системы

  • 3D-карты AMD Radeon RX Vega, цены, спецификации, смартфон Meizu Pro 7

1212

Календарь

февраль
Пн
Вт
Ср
Чт
Пт
Сб
Вс

Рекомендуем почитать