IBM об иммерсионной литографии: можно использовать те же фоторезисты

ПредыдущаяСледующая
1174

На International Sematech Immersion Workshop, прошедшей на прошлой неделе, IBM обнародовала детали исследования свойств фоторезистивных покрытий в условиях иммерсионных (проходящих при погружении в воду) технологических процессов. Из отчета следует, в частности, что фотолитографические резисты не меняют своих ключевых для литографии свойств, даже находясь под водой. В лабораториях Almaden Research Center IBM исследовались полупроводниковые пластины, покрытые обычным химически-активным фоторезистом, находившемся в воде в течение минуты. После погружения в воду фоторезисты высушивались и обрабатывались таким же обычным 193-нм сканером. Как утверждают исследователи, степень деградации полученных рисунков в сравнении с «сухими» незначительна.

Ученые были удивлены полученными результатами, так как до этого многие эксперты высказывали опасение, что для иммерсионной литографии придется разрабатывать новые типы фоторезистов. Конечно, фоторезист присоединял воду, но это почти не повлияло на контрастность полученной картины.

Напомним вкратце суть иммерсионной литографии: воздушная прослойка между фокусирующей линзой сканера и подложкой заполняется водой, имеющей другой коэффициент преломления, в результате чего размер светового пятна становится меньше. Перспективы применения иммерсионной литографии исследовали в MIT, показав, что технология может быть использована для обработки полупроводниковых пластин в процессах с нормами вплоть до 32 нм. К сожалению, результат IBM нельзя рассматривать слишком обнадеживающим: компания не имеет возможности проводить полностью иммерсионные процессы, в которых длительность времени, проводимого фоторезистом в воде, существенно больше. IBM ждет поставок иммерсионных сканеров от ASML, Canon и Nikon. Кроме того, для исследовательских целей достаточно утверждать о субъективно «слабом» влиянии воды на свойства фоторезиста, которое впоследствии может оказаться объективно значащим для промышленности.

15 июля 2003 Г.

04:53

Ctrl
ПредыдущаяСледующая

Все новости за сегодня

Китай намерен создать космический корабль с ядерным двигателем: Ядерные космические корабли могут стать реальностью

PowerColor похвасталась изображениями видеокарты Radeon RX Vega 64 Red Devil: Radeon RX Vega 64 Red Devil получит 12-фазную подсистему питания1

Набор модулей памяти G.Skill Trident Z DDR4-4400 суммарным объемом 32 ГБ работает с задержками CL19-19-19-39: По словам производителя, это самый быстрый набор DDR4 такого объема2

Samsung продолжит использовать в смартфонах тепловые трубки: По крайней мере, в 2018 году13

Virgin Hyperloop One изучает возможность строительства в Индии сети маршрутов высокоскоростных поездов: О сроках реализации проекта пока данных нет10

Производитель извинился за задержку камер Sony a7R III: По словам Sony, ситуация должна разрешиться в начале декабря9

Toshiba утверждает, что не ведет переговоры с Asustek Computer о продаже производства ПК: По данным Nikkei, интерес к указанному бизнесу Toshiba также проявила компания Lenovo Group2

Sony тестирует устройство с SoC Snapdragon 845, которая получит восьмиядерный CPU с частотой 2,6 ГГц и GPU Adreno 550: Новый флагман Sony может получить SoC Snapdragon 84516

У смартфона OnePlus 5T не должно быть «желейного эффекта» на экране : Экран смартфона OnePlus 5T не будет «желейным» 7

AMD превосходит Nvidia в статистике Firefox : Подсчет с помощью браузера обеспечивает более представительный охват по сравнению с данными игровых платформ16

Ассортимент EK Water Blocks пополнил водоблок EK-FB ASRock X299 RGB Monoblock: Новый водоблок уже доступен для предварительного заказа по цене 120 евро5

Начались продажи корпусов SilverStone Redline RL07: Корпус SilverStone Redline RL07 рассчитан на платы типоразмера ATX3

Специалистам Holst Centre удалось создать действительно гибкую панель OLED: Сейчас разработчики передают технологию одному из партнеров9

Начались продажи миниатюрной камеры PogoCam, прикрепляемой к очкам: Камера PogoCam оценена в $14927

Планшеты Lenovo Tab 7 и Tab 7 Essential стоят $100 и $70 соответственно: Новинки уже доступны на официальном сайте производителя9

Процессорный охладитель Jonsbo PC-701 порадует любителей подсветки: Кулер Jonsbo PC-701 может отвести до 135 Вт мощности3

Анонсирован выпуск теста производительности VRMark Cyan Room: Тест VRMark Cyan Room позволит определять производительность в приложениях виртуальной реальности, использующих DirectX12

Грузовик Tesla Semi сможет разгоняться до 96 км/ч за 5 с, а его запас хода составит 800 км: В продажу новинка поступит в 2019 году68

В сети появились изображения еще не представленной беззеркальной камеры Fujifilm : Возможно, это модель X-A5

Экран iPhone X больше не зависает при снижении температуры: Размер обновления, которое предназначено исключительно для владельцев iPhone X, составляет около 33 МБ49

Представлен обновленный электромобиль Tesla Roadster, который разгоняется до 400 км/ч и имеет запас хода 1000 км: В продаже обновленный электромобиль Tesla Roadster поступит в 2020 году63

Самый популярный телефон Nokia сегодня отгружается партиями по 10 млн единиц в месяц: Несмотря на рост популярности смартфонов, мобильные телефоны продолжают пользоваться большим спросом16

Intel может стать единственным поставщиком модемов 5G для новых смартфонов iPhone: Apple сотрудничает с Intel, работая над модемом 5G для новых iPhone11

Две версии смартфона Maze Alpha X получат разные камеры: Цена двух вышеупомянутых версий составит 200 и 290 долларов1

Устройство TrickleStar USB Motion Sensor призвано уменьшить энергопотребление настольного ПК: USB Motion Sensor переводит компьютер в спящий режим в отсутствие пользователя22

Фитнес-трекер Spire, который крепится прямо на вещи, не нужно заряжать и можно стирать с вещами: Устройство предлагается за 49 долларов3

Смартфон iPhone X стал одним из лучших изобретений текущего года по версии журнала Time. А ещё в этом же списке есть спиннер: Журнал Time назвали iPhone X одним из лучших изобретений года50

Шлюз VIA ARTiGO A630 предназначен для IoT: Шлюз VIA ARTiGO A630 работает под управлением Android 5.0 или Linux Kernel 3.4.5

Аксессуар Fusion Lens позволит владельцам iPhone делать панорамные снимки: Первые покупатели Fusion Lens получат аксессуар за 44 доллара в феврале следующего года1

Опубликовано новое изображение смартфона Xiaomi Redmi Note 5: Цена новинки ожидается на уровне 150 долларов

Видеокарта Gigabyte GeForce GTX 1070 Ti WindForce 8G получила охладитель WindForce x2: Gigabyte выпустила ещё одну модель GeForce GTX 1070 Ti2

997
1318

iXBT TV

  • Заводские экзоскелеты, обновление Firefox, слишком умные наушники

  • Репортаж с конференции Supercomputing 2017 (SC17), день 3: стенд группы компаний РСК

  • Репортаж с конференции Supercomputing 2017 (SC17), день 2: стенд Intel

  • Репортаж с конференции Supercomputing 2017 (SC17), день 1: рейтинг Top500

  • Обзор кинотеатрального DLP-проектора LG PF1000U со встроенным ТВ-тюнером

  • Камера Panasonic G9, унитазный робот, игровой смартфон, кепка для водителей

  • Обзор портативной беспроводной колонки Sven PS-460

  • Обзор напольного пылесоса Tefal Silence Force 4A TW6477 с одноразовыми мешками для сбора мусора

  • Обзор сверхширокоугольного зум-объектива Canon EF 16-35mm f/2.8L III USM

  • Обзор изогнутого 34-дюймового IPS-монитора LG 34UC99 с соотношением сторон 21:9 и белым корпусом

  • Обзор робота-пылесоса Philips SmartPro Active (FC8822/01) с широкой насадкой TriActive XL

  • Обзор видеокамеры Canon XF405: съемка 4K-видео с высокой частотой кадров

1212

Календарь

июль
Пн
Вт
Ср
Чт
Пт
Сб
Вс

Рекомендуем почитать