Сканер для сухой литографии Nikon NSR-S320F дополнит иммерсионные системы при переходе к технологиям 20-нанометрового класса

ПредыдущаяСледующая
1174

У потребителей имя компании Nikon ассоциируется, в первую очередь, с фототехникой. Между тем, японская компания является крупным поставщиком передового оборудования для производства полупроводниковой продукции. Сегодня компания Nikon объявила о выпуске сканера NSR-S320F для сухой фотолитографии. Новинка характеризуется высокой производительностью и точностью совмещения слоев. Совместимость S320F на уровне платформы Streamlign Platform с уже эксплуатируемыми иммерсионными сканерами NSR-S620D и модульная структура Modular2, по словам производителя, позволяет снизить затраты на развертывание и стоимость эксплуатации.

Отрасль сейчас находится на переходе к массовому выпуску продукции по технологии 20-нанометрового класса, в которой для ключевых слоев используется иммерсионная литография и двойное шаблонирование. Вместе с тем, для снижения стоимости многие слои будут, по-прежнему, обрабатываться с помощью сухой литографии с одной экспозицией. Чтобы это стало возможным, сканеры для сухой литографии должны соответствовать по производительности и точности иммерсионным системам, подчеркивает Nikon. В случае NSR-S320F эти требования полностью удовлетворены.

За один час сканер может обработать до 200 пластин. Система контроля NSR-S320F, построенная на применении интерферометров, обеспечивает точность позиционирования не хуже 3 нм. Поставки NSR-S320F начинаются в текущем квартале.

Источник: Nikon Precision

5 декабря 2011 Г.

18:49

Ctrl
ПредыдущаяСледующая

Все новости за сегодня

Vinci 2.0 — наушники с искусственным интеллектом для занятий физкультурой: На выпуск Vinci 2.0 уже собрано более 260 000 долларов7

Компания Broadcom завершила покупку компании Brocade Communications Systems: Новый владелец планирует разделить Brocade

Начало продаж Apple HomePod отложено: Умная АС Apple появится на рынке в 2018 году43

Анонсирован выпуск карты для работы с видео Blackmagic DeckLink 8K Pro: Карта Blackmagic DeckLink 8K Pro предназначена для захвата и вывода видео в разрешении до 8K DCI5

Samsung SM-W2018 может стать первым смартфоном с камерой, объектив которой имеет диафрагму F/1,5: Смартфон будет представлен в Китае 1 декабря этого года13

Представлена клавиатура Zagg Slim Book для iPad Pro с подсветкой клавиш и местом для Apple Pencil: Цена устройства составляет 120 долларов2

OnePlus 5T получит обновление Android 8.O Oreo в начале 2018 года: Разработчики решили изначально оснастить его Android 7.1.1 Nougat5

В понедельник Toshiba примет решение о привлечении зарубежных инвестиций в размере 5 млрд долларов: Эти средства должны помочь Toshiba удержаться на бирже

По прогнозу DSCC, рынок материалов OLED в ближайшие годы будет расти на 20% в год: К 2022 году он достигнет 2,25 млрд долларов

Опубликован эскиз безрамочного смартфона 360 Mobiles: Компания будет придерживаться устоявшейся традиции, предлагая пользователям смартфоны с впечатляющими характеристиками по привлекательным ценам

997
1318

iXBT TV

  • Обзор аккумуляторной дрели-шуруповерта Bosch GSR 12V-15 FC Professional

  • Заводские экзоскелеты, обновление Firefox, слишком умные наушники

  • Репортаж с конференции Supercomputing 2017 (SC17), день 3: стенд группы компаний РСК

  • Репортаж с конференции Supercomputing 2017 (SC17), день 2: стенд Intel

  • Репортаж с конференции Supercomputing 2017 (SC17), день 1: рейтинг Top500

  • Обзор кинотеатрального DLP-проектора LG PF1000U со встроенным ТВ-тюнером

  • Камера Panasonic G9, унитазный робот, игровой смартфон, кепка для водителей

  • Обзор портативной беспроводной колонки Sven PS-460

  • Обзор напольного пылесоса Tefal Silence Force 4A TW6477 с одноразовыми мешками для сбора мусора

  • Обзор сверхширокоугольного зум-объектива Canon EF 16-35mm f/2.8L III USM

  • Обзор изогнутого 34-дюймового IPS-монитора LG 34UC99 с соотношением сторон 21:9 и белым корпусом

  • Обзор робота-пылесоса Philips SmartPro Active (FC8822/01) с широкой насадкой TriActive XL

1212

Календарь

декабрь
Пн
Вт
Ср
Чт
Пт
Сб
Вс

Рекомендуем почитать