У потребителей имя компании Nikon ассоциируется, в первую очередь, с фототехникой. Между тем, японская компания является крупным поставщиком передового оборудования для производства полупроводниковой продукции. Сегодня компания Nikon объявила о выпуске сканера NSR-S320F для сухой фотолитографии. Новинка характеризуется высокой производительностью и точностью совмещения слоев. Совместимость S320F на уровне платформы Streamlign Platform с уже эксплуатируемыми иммерсионными сканерами NSR-S620D и модульная структура Modular2, по словам производителя, позволяет снизить затраты на развертывание и стоимость эксплуатации.
Отрасль сейчас находится на переходе к массовому выпуску продукции по технологии 20-нанометрового класса, в которой для ключевых слоев используется иммерсионная литография и двойное шаблонирование. Вместе с тем, для снижения стоимости многие слои будут, по-прежнему, обрабатываться с помощью сухой литографии с одной экспозицией. Чтобы это стало возможным, сканеры для сухой литографии должны соответствовать по производительности и точности иммерсионным системам, подчеркивает Nikon. В случае NSR-S320F эти требования полностью удовлетворены.
За один час сканер может обработать до 200 пластин. Система контроля NSR-S320F, построенная на применении интерферометров, обеспечивает точность позиционирования не хуже 3 нм. Поставки NSR-S320F начинаются в текущем квартале.
Источник: Nikon Precision