Как стало известно, иммерсионный сканер Nikon NSR-S610C будет использоваться для выпуска флэш-памяти NAND по нормам 43 нм. Об этом на четвертом Международном симпозиуме по иммерсионной литографии объявили компании Nikon и Toshiba.
NSR-S610C (NA = 1,30) является первым в мире сканером для иммерсионной литографии, предназначенным для серийного выпуска чипов памяти по нормам 45 нм и менее, и логических чипов по нормам 32 нм.
Предыдущая модель, NSR-S609B, стала первым в мире сканером для серийного производства с применением иммерсионной литографии. Ее поставки начались в январе 2006 года. В свою очередь, первый NSR-610C был отгружен заказчику в феврале 2007 года.
Напомним, одной из особенностей NSR-S610C является технология «локального заполнения» (Local Fill Technology), которая позволяет бороться с неоднородностями в жидкости и пластинах, повышая качество чипов.
В настоящее время, Nikon занимает позицию лидера на рынке литографического оборудования для микроэлектронного производства. По подсчетам компании, по всему миру установлено около 7800 экспонирующих систем, используемых в производстве полупроводниковых микросхем, плоских дисплеев и тонкопленочных магнитных головок.
Источник: Nikon