Новая технология NEC обеспечит 32-нм чипы low-k диэлектриками

1174

NEC и NEC Electronics сообщают о создании технологии внутренних соединений для полупроводниковых микросхем, выполненных с соблюдением норм 32-нм технологического процесса. Сообщается, что при создании соединений используются изоляторы с малой диэлектрической проницаемостью (low-k), созданные по технологии плазменной сополимеризации.

Напомним, что необходимость использования изоляторов с низкой диэлектрической проницаемостью возникает вследствие роста влияния паразитной ёмкости между внутренними соединениями полупроводникового чипа с уменьшением размеров элементов. Существует не так много подходов к созданию low-k диэлектриков, один из которых – использование пористых пленок, которые были успешно применены для норм 65 нм, но уже не являются эффективными для более тонких норм. Технология плазменной сополимеризции позволяет регулировать соотношение между пористой и жесткой low-k пленкой, сохраняя ёмкость на уровне 83 фФ/мм (фемтофарад на миллиметр).

Другой подход к снижению диэлектрической проницаемости заключается в использовании органических пленок (например, SiOCH) с низкой поляризуемостью – такие диэлектрики были использованы в 90-нм микросхемах. Причем такие же пленки, но только пористые, сейчас пробуются для использования в 65-нм чипах. Дальнейшее развитие этого подхода NEC провела в рамках проекта MIRAI, создав MPS (molecular-pore-stack, массив молекулярных пор)-технологию с равномерным распределении суб-нанометровых пор. Предполагается, что MPS-диэлектрики будут использованы в 45-нм микросхемах.

Однако, для норм 32 нм и менее, одной только пористости диэлектрической пленки недостаточно – в дополнение к ним обычно используется слой с большой механической жесткостью, что обычно выполняется в два последовательных этапа. А новая разработка NEC и NEC Electronics позволяет сделать это в одном этапе и с помощью одного инструмента.

13 декабря 2006

21:41

Ctrl
ПредыдущаяСледующая

Все новости за сегодня

Поисковик Google теперь будет предоставлять короткие превью для видеороликов: Поисковая система Google сможет показывать превью-видео2

Смартфон HomTom S8 также копирует дизайн Samsung Galaxy S8: Цена устройства составит 190 долларов3

Процессоры Intel Core восьмого поколения не будут дороже актуальных CPU: Intel не поднимет цены на CPU при выходе Coffee Lake16

AMD пока не может гарантировать наличия в магазинах видеокарт Radeon RX Vega 64 по рекомендованным ценам: AMD призналась в дефиците карт Vega 10

Смартфон Xiaomi Redmi Note 5A первым в серии получит два выделенных слота для SIM-карт и слот для карты памяти: Одна из версий Xiaomi Redmi Note 5A получит фронтальную камеру разрешением 16 Мп со светодиодной вспышкой4

Hyundai сконцентрируется на электромобилях вместо машин на топливных элементах : Hyundai увеличит объёмы выпуска электромобилей1

Samsung Pay отмечает два года, сумма платежей составила $8,77 млрд: Samsung Pay в данный момент работает в 18 странах мира7

Samsung готовится к глобальному запуску Bixby: Персональный помощник по-прежнему недоступен во многих странах мира1

Умные кроссовки Xiaomi Free Tie Leather оценены в $30: Кроссовки оснащены светодиодной подсветкой, процессором, а также модулем Bluetooth 4.08

Семейство 3D-карт Colorful iGame Vulcan X пополнили модели GTX 1080 Ti, GTX 1080, GTX 1070 и GTX 1060: Общей чертой этих 3D-карт является система охлаждения, в кожух которой встроен жидкокристаллический индикатор3

Конструкция компьютерного корпуса Thermaltake View 71 Tempered Glass Edition включает четыре панели из закаленного стекла: Цену новинки производитель не называет3

ВИКТОРИНА ASUSTOR

Процессор с какой архитектурой установлен в ASUSTOR AS6302T, благодаря которому производительно выросла на 30% по сравнению с прошлым поколением?
1318

iXBT TV

  • Обзор легкой, компактной и дешевой мясорубки Kitfort KT-2101 Carnivora

  • Обзор беззеркальной фотокамеры Fujifilm X-T20

  • Обзор кинотеатрального DLP-проектора BenQ W11000 с эмуляцией разрешения 4К

  • AMD Ryzen Threadripper 1920Х и 1950X — тестирование 12-ядерного и 16-ядерного процессоров

  • Обзор мини-ПК ECS Liva Z на базе процессора Apollo Lake

  • Самый лучший процессор, неудачи Microsoft, гибкие наушники Samsung

  • Обзор цветного МФУ Xerox VersaLink C405 для малых и средних офисов

  • Обзор умного чайника Redmond SkyKettle RK-G200S с подсветкой и нагревом воды до нужной температуры

  • Конфигурируем мини-ПК: изучаем влияние памяти и накопителя на быстродействие системы

  • 3D-карты AMD Radeon RX Vega, цены, спецификации, смартфон Meizu Pro 7

  • Обзор лазерного цветного МФУ Canon imageRunner Advance C3520i, младшего в новой линейке

  • Обзор робота-пылесоса iBoto Aqua V710 с функцией влажной уборки

1212

Календарь

декабрь
Пн
Вт
Ср
Чт
Пт
Сб
Вс

Рекомендуем почитать