ASML не готова начать поставки EUVL-оборудования в срок

ПредыдущаяСледующая
1174

Как сообщает источник, голландский производитель литографического оборудования ASML собирается начать поставки пробных EUVL (extreme ultraviolet lithography) инструментов во втором квартале будущего года. Ранее ожидалось, что ASML выпустит на рынок первые образцы EUVL-оборудования в первом квартале 2006 года.

Напомним вкратце, что в EUV-литографии используются источники жесткого ультрафиолетового излучения. Длина волны такого излучения (13,5 нм) меньше, чем длина волны использующихся в современных литографических установках 193-нм лазеров, следовательно, с помощью EUVL-инструментов можно будет создавать рисунка меньшего размера. Предполагается, что первое применение EUV-литография найдет в производстве полупроводниковых микросхем по нормам 32 нм и менее (что произойдет в районе 2009 года). Для норм 45 нм на текущий момент предполагается использовать иммерсионные 193-нм инструменты.

Первые два EUVL-продукта предназначаются исключительно для академических целей: один будет установлен в Университете штата Нью-Йорк, второй – в бельгийском научно-исследовательском центре IMEC. В качестве источника излучения используется разработка Philips Extreme UV (совместное предприятие Philips Lighting и ILT - Fraunhofer Institute of Laser Technology, Фраунгоферовского Института Лазерных Технологий). Оптическая схема двух первых прототипов, включающая в себя по шесть линз, создана Carl Zeiss.

Первые прототипы EUVL-инструментов обеспечивают обработку не менее 10 полупроводниковых пластин в час. Этого достаточно для исследовательских целей, но намного меньше, чем 80-100 пластин в час, требуемые для внедрения технологии в коммерческое производство.

Главной проблемой для увеличения производительности является недостаточная мощность источника излучения. К сегодняшнему дню Philips Extreme достигла уровня около 40 Вт, в то время как для достижения требуемой производительности потребуется не менее 115 Вт.

17 октября 2005 Г.

14:51

Ctrl
ПредыдущаяСледующая

Все новости за сегодня

Компания Intel анонсировала выпуск своего первого модема 5G: Одновременно был представлен модем LTE Cat-19, получивший обозначение Intel XMM 7660103

Jaguar Land Rover начинает испытания самоуправляемых машин на дорогах общего пользования: Испытания будут продолжены в будущем году5

Компания Megabots хочет провести первый в мире турнир по боям огромных роботов: В следующем году может быть проведёт первый турнир по боям гигантских роботов9

Видео дня: робот Boston Dynamics Atlas делает сальто назад: Робот Boston Dynamics Atlas научился запрыгивать на препятствия40

Смартфон Samsung Galaxy J2 Pro в новом поколении наконец-то получит современную платформу: Стали известны детали о смартфонах Samsung Galaxy J2 Pro и Galaxy J5 Prime нового поколения26

Volkswagen собирается выделить на электромобили и самоуправляемые машины более 34 млрд евро: Общая сумма инвестиций на период до 2022 года примерно равна 72 млрд евро15

Китай намерен создать космический корабль с ядерным двигателем: Ядерные космические корабли могут стать реальностью93

PowerColor похвасталась изображениями видеокарты Radeon RX Vega 64 Red Devil: Radeon RX Vega 64 Red Devil получит 12-фазную подсистему питания11

Набор модулей памяти G.Skill Trident Z DDR4-4400 суммарным объемом 32 ГБ работает с задержками CL19-19-19-39: По словам производителя, это самый быстрый набор DDR4 такого объема6

997
1318

iXBT TV

  • Заводские экзоскелеты, обновление Firefox, слишком умные наушники

  • Репортаж с конференции Supercomputing 2017 (SC17), день 3: стенд группы компаний РСК

  • Репортаж с конференции Supercomputing 2017 (SC17), день 2: стенд Intel

  • Репортаж с конференции Supercomputing 2017 (SC17), день 1: рейтинг Top500

  • Обзор кинотеатрального DLP-проектора LG PF1000U со встроенным ТВ-тюнером

  • Камера Panasonic G9, унитазный робот, игровой смартфон, кепка для водителей

  • Обзор портативной беспроводной колонки Sven PS-460

  • Обзор напольного пылесоса Tefal Silence Force 4A TW6477 с одноразовыми мешками для сбора мусора

  • Обзор сверхширокоугольного зум-объектива Canon EF 16-35mm f/2.8L III USM

  • Обзор изогнутого 34-дюймового IPS-монитора LG 34UC99 с соотношением сторон 21:9 и белым корпусом

  • Обзор робота-пылесоса Philips SmartPro Active (FC8822/01) с широкой насадкой TriActive XL

  • Обзор видеокамеры Canon XF405: съемка 4K-видео с высокой частотой кадров

1212

Календарь

октябрь
Пн
Вт
Ср
Чт
Пт
Сб
Вс
1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 16 17 18 19 20 21 22 23 24 25 26 27 28 29 30 31

Рекомендуем почитать