ASML не готова начать поставки EUVL-оборудования в срок

1174

Как сообщает источник, голландский производитель литографического оборудования ASML собирается начать поставки пробных EUVL (extreme ultraviolet lithography) инструментов во втором квартале будущего года. Ранее ожидалось, что ASML выпустит на рынок первые образцы EUVL-оборудования в первом квартале 2006 года.

Напомним вкратце, что в EUV-литографии используются источники жесткого ультрафиолетового излучения. Длина волны такого излучения (13,5 нм) меньше, чем длина волны использующихся в современных литографических установках 193-нм лазеров, следовательно, с помощью EUVL-инструментов можно будет создавать рисунка меньшего размера. Предполагается, что первое применение EUV-литография найдет в производстве полупроводниковых микросхем по нормам 32 нм и менее (что произойдет в районе 2009 года). Для норм 45 нм на текущий момент предполагается использовать иммерсионные 193-нм инструменты.

Первые два EUVL-продукта предназначаются исключительно для академических целей: один будет установлен в Университете штата Нью-Йорк, второй – в бельгийском научно-исследовательском центре IMEC. В качестве источника излучения используется разработка Philips Extreme UV (совместное предприятие Philips Lighting и ILT - Fraunhofer Institute of Laser Technology, Фраунгоферовского Института Лазерных Технологий). Оптическая схема двух первых прототипов, включающая в себя по шесть линз, создана Carl Zeiss.

Первые прототипы EUVL-инструментов обеспечивают обработку не менее 10 полупроводниковых пластин в час. Этого достаточно для исследовательских целей, но намного меньше, чем 80-100 пластин в час, требуемые для внедрения технологии в коммерческое производство.

Главной проблемой для увеличения производительности является недостаточная мощность источника излучения. К сегодняшнему дню Philips Extreme достигла уровня около 40 Вт, в то время как для достижения требуемой производительности потребуется не менее 115 Вт.

17 октября 2005

14:51

Ctrl
ПредыдущаяСледующая

Все новости за сегодня

Смартфон Meiigoo S8 можно спутать с Samsung Galaxy S8: В продажу новинка поступит в сентябре

Новая экшн-камера Xiaomi Mijia Compact Camera с поддержкой RAW и 4К оценена в $105: Камера оснащена однокристальной системой Ambarella A12S75 и датчиком изображения Sony IMX317

Fujitsu готовит к продаже производство смартфонов; в числе возможных покупателей значится Lenovo: Первый раунд торгов может начаться уже в сентябре

Покупатели Samsung Galaxy Note 8 получат привлекательные бонусы: Samsung Galaxy Note 8 должны представить уже сегодня в 18:00 мск3

Toshiba и Western Digital могут договориться до конца месяца: Toshiba сделала приоритетными переговоры о продаже полупроводникового производства с Western Digital 1

Подтверждено существование версий Meizu M6 Note с Helio P25 и Snapdragon 625: Анонс Meizu M6 Note состоится уже сегодня

Самоуправляемый погрузчик Seegrid GP8 Series не требует вспомогательной инфраструктуры : Машина построена на улучшенной версии платформы Seegrid Smart Platform

Фото дня: модуль 3D-камеры смартфона Apple iPhone 8: Анонс смартфона Apple iPhone следующего поколения ожидается осенью5

Объем внешнего накопителя WD My Book Duo достигает 20 ТБ: My Book Duo — самый емкий накопитель Western Digital

Объем рынка флэш-памяти типа NAND во втором квартале 2017 года превысил 13 млрд долларов: За квартал рынок флэш-памяти типа NAND вырос на 8%

Появились первые изображения камеры Olympus OM-D E-M10 Mark III, названа цена : Производитель предложит два варианта внешнего оформления камеры: черный и серебристый

Красногорский механический завод им. Зверева готовит к выпуску полнокадровую беззеркальную камеру: Фотоаппарат будет носить марку «Зенит» 21

Huawei выпустит новый флагманский смартфон в двух версиях: Mate 10 и Mate 10 Pro: Huawei Mate 10 получит обычный экран, а Mate 10 Pro — более вытянутый 6

ОПРОС GOODRAM

Установлен ли в вашем компьютере SSD накопитель?
1318

iXBT TV

  • Электро-Maybach, топовая Nokia и действительно оригинальный смартфон

  • Обзор видеоускорителя AMD Radeon RX Vega 64

  • Обзор легкой, компактной и дешевой мясорубки Kitfort KT-2101 Carnivora

  • Обзор беззеркальной фотокамеры Fujifilm X-T20

  • Обзор кинотеатрального DLP-проектора BenQ W11000 с эмуляцией разрешения 4К

  • AMD Ryzen Threadripper 1920Х и 1950X — тестирование 12-ядерного и 16-ядерного процессоров

  • Обзор мини-ПК ECS Liva Z на базе процессора Apollo Lake

  • Самый лучший процессор, неудачи Microsoft, гибкие наушники Samsung

  • Обзор цветного МФУ Xerox VersaLink C405 для малых и средних офисов

  • Обзор умного чайника Redmond SkyKettle RK-G200S с подсветкой и нагревом воды до нужной температуры

  • Конфигурируем мини-ПК: изучаем влияние памяти и накопителя на быстродействие системы

  • 3D-карты AMD Radeon RX Vega, цены, спецификации, смартфон Meizu Pro 7

1212

Календарь

октябрь
Пн
Вт
Ср
Чт
Пт
Сб
Вс
1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 16 17 18 19 20 21 22 23 24 25 26 27 28 29 30 31

Рекомендуем почитать