IMEC подтверждает готовность иммерсионных технологий для производства по 45-нм нормам

ПредыдущаяСледующая
1174

На минувшей неделе состоялся второй международный симпозиум по иммерсионной литографии (2nd International Symposium on Immersion Lithography), одним из главных результатов которого стало одобрение использования 193-нм иммерсионной литографии для массового производства полупроводниковых микросхем по 65-нм и 45-нм нормам.

В итоговом сообщении европейского исследовательского центра IMEC утверждается, что намеченные ранее сроки внедрения иммерсионной литографии в производство остаются в силе. В настоящее время продолжаются работы по изучению взаимодействия фоторезистивных покрытий и верхних слоев полупроводника с водой, но уже сейчас у исследователей складывается более-менее цельная картина.

Одной из главных проблем, однако, остается количество дефектов – но уже сейчас понятно, что иммерсия (погружение в воду) действительно вносит свой вклад в их образование.

IMEC называет несколько основных достижений, продемонстрированных в ходе симпозиума:

  • Литографические инструменты с числовой апертурой менее 1 уже сейчас обеспечивают высокий выход годных чипов. Изучено взаимодействие фоторезиста с водой, продемонстрированы технологические процессы без внешнего слоя
  • Сканеры с числовой апертурой более 1, наиболее полно использующие преимущества иммерсионного подхода, будут доступны на рынке в будущем году. Эффекты, связанные с поляризацией масок, могут быть сведены к минимуму при манипуляции с поляризацией источника света
  • Для очень больших значений числовой апертуры (1,3), первые исследования жидкостей и оптических материалов подтверждают возможность использования иммерсионных технологий до 45-нм норм (правда, для этого придется использовать не воду, а жидкость с большим коэффициентом преломления)

Поэтому, в качестве направлений исследования на будущее, IMEC обозначила следующее:

  • Выбор жидкостей и материалов для изготовления линза с высоким коэффициентом преломления
  • Развитие технологий фоторезистивных покрытий
  • Разработка растворов, снижающих количество дефектов, связанных с иммерсией
  • Демонстрация возможности двойной экспозиции
  • Управление поляризацией для значений числовой апертуры менее 1
  • Разработка фотомасок с минимальной зависимостью от поляризации источника света

25 сентября 2005 Г.

01:20

Ctrl
ПредыдущаяСледующая

Все новости за сегодня

Смартфон Samsung Galaxy J2 Pro в новом поколении наконец-то получит современную платформу: Стали известны детали о смартфонах Samsung Galaxy J2 Pro и Galaxy J5 Prime нового поколения

Volkswagen собирается выделить на электромобили и самоуправляемые машины более 34 млрд евро: Общая сумма инвестиций на период до 2022 года примерно равна 72 млрд евро

Китай намерен создать космический корабль с ядерным двигателем: Ядерные космические корабли могут стать реальностью57

PowerColor похвасталась изображениями видеокарты Radeon RX Vega 64 Red Devil: Radeon RX Vega 64 Red Devil получит 12-фазную подсистему питания5

Набор модулей памяти G.Skill Trident Z DDR4-4400 суммарным объемом 32 ГБ работает с задержками CL19-19-19-39: По словам производителя, это самый быстрый набор DDR4 такого объема6

Samsung продолжит использовать в смартфонах тепловые трубки: По крайней мере, в 2018 году24

Virgin Hyperloop One изучает возможность строительства в Индии сети маршрутов высокоскоростных поездов: О сроках реализации проекта пока данных нет15

Производитель извинился за задержку камер Sony a7R III: По словам Sony, ситуация должна разрешиться в начале декабря14

Toshiba утверждает, что не ведет переговоры с Asustek Computer о продаже производства ПК: По данным Nikkei, интерес к указанному бизнесу Toshiba также проявила компания Lenovo Group2

997
1318

iXBT TV

  • Заводские экзоскелеты, обновление Firefox, слишком умные наушники

  • Репортаж с конференции Supercomputing 2017 (SC17), день 3: стенд группы компаний РСК

  • Репортаж с конференции Supercomputing 2017 (SC17), день 2: стенд Intel

  • Репортаж с конференции Supercomputing 2017 (SC17), день 1: рейтинг Top500

  • Обзор кинотеатрального DLP-проектора LG PF1000U со встроенным ТВ-тюнером

  • Камера Panasonic G9, унитазный робот, игровой смартфон, кепка для водителей

  • Обзор портативной беспроводной колонки Sven PS-460

  • Обзор напольного пылесоса Tefal Silence Force 4A TW6477 с одноразовыми мешками для сбора мусора

  • Обзор сверхширокоугольного зум-объектива Canon EF 16-35mm f/2.8L III USM

  • Обзор изогнутого 34-дюймового IPS-монитора LG 34UC99 с соотношением сторон 21:9 и белым корпусом

  • Обзор робота-пылесоса Philips SmartPro Active (FC8822/01) с широкой насадкой TriActive XL

  • Обзор видеокамеры Canon XF405: съемка 4K-видео с высокой частотой кадров

1212

Календарь

сентябрь
Пн
Вт
Ср
Чт
Пт
Сб
Вс
1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 16 17 18 19 20 21 22 23 24 25 26 27 28 29 30

Рекомендуем почитать