IMEC подтверждает готовность иммерсионных технологий для производства по 45-нм нормам

1174

На минувшей неделе состоялся второй международный симпозиум по иммерсионной литографии (2nd International Symposium on Immersion Lithography), одним из главных результатов которого стало одобрение использования 193-нм иммерсионной литографии для массового производства полупроводниковых микросхем по 65-нм и 45-нм нормам.

В итоговом сообщении европейского исследовательского центра IMEC утверждается, что намеченные ранее сроки внедрения иммерсионной литографии в производство остаются в силе. В настоящее время продолжаются работы по изучению взаимодействия фоторезистивных покрытий и верхних слоев полупроводника с водой, но уже сейчас у исследователей складывается более-менее цельная картина.

Одной из главных проблем, однако, остается количество дефектов – но уже сейчас понятно, что иммерсия (погружение в воду) действительно вносит свой вклад в их образование.

IMEC называет несколько основных достижений, продемонстрированных в ходе симпозиума:

  • Литографические инструменты с числовой апертурой менее 1 уже сейчас обеспечивают высокий выход годных чипов. Изучено взаимодействие фоторезиста с водой, продемонстрированы технологические процессы без внешнего слоя
  • Сканеры с числовой апертурой более 1, наиболее полно использующие преимущества иммерсионного подхода, будут доступны на рынке в будущем году. Эффекты, связанные с поляризацией масок, могут быть сведены к минимуму при манипуляции с поляризацией источника света
  • Для очень больших значений числовой апертуры (1,3), первые исследования жидкостей и оптических материалов подтверждают возможность использования иммерсионных технологий до 45-нм норм (правда, для этого придется использовать не воду, а жидкость с большим коэффициентом преломления)

Поэтому, в качестве направлений исследования на будущее, IMEC обозначила следующее:

  • Выбор жидкостей и материалов для изготовления линза с высоким коэффициентом преломления
  • Развитие технологий фоторезистивных покрытий
  • Разработка растворов, снижающих количество дефектов, связанных с иммерсией
  • Демонстрация возможности двойной экспозиции
  • Управление поляризацией для значений числовой апертуры менее 1
  • Разработка фотомасок с минимальной зависимостью от поляризации источника света

25 сентября 2005

01:20

Ctrl
ПредыдущаяСледующая

Все новости за сегодня

Поисковик Google теперь будет предоставлять короткие превью для видеороликов: Поисковая система Google сможет показывать превью-видео1

Смартфон HomTom S8 также копирует дизайн Samsung Galaxy S8: Цена устройства составит 190 долларов1

Процессоры Intel Core восьмого поколения не будут дороже актуальных CPU: Intel не поднимет цены на CPU при выходе Coffee Lake12

AMD пока не может гарантировать наличия в магазинах видеокарт Radeon RX Vega 64 по рекомендованным ценам: AMD призналась в дефиците карт Vega 9

Смартфон Xiaomi Redmi Note 5A первым в серии получит два выделенных слота для SIM-карт и слот для карты памяти: Одна из версий Xiaomi Redmi Note 5A получит фронтальную камеру разрешением 16 Мп со светодиодной вспышкой2

Hyundai сконцентрируется на электромобилях вместо машин на топливных элементах : Hyundai увеличит объёмы выпуска электромобилей1

Samsung Pay отмечает два года, сумма платежей составила $8,77 млрд: Samsung Pay в данный момент работает в 18 странах мира1

Samsung готовится к глобальному запуску Bixby: Персональный помощник по-прежнему недоступен во многих странах мира

Умные кроссовки Xiaomi Free Tie Leather оценены в $30: Кроссовки оснащены светодиодной подсветкой, процессором, а также модулем Bluetooth 4.06

Семейство 3D-карт Colorful iGame Vulcan X пополнили модели GTX 1080 Ti, GTX 1080, GTX 1070 и GTX 1060: Общей чертой этих 3D-карт является система охлаждения, в кожух которой встроен жидкокристаллический индикатор3

Конструкция компьютерного корпуса Thermaltake View 71 Tempered Glass Edition включает четыре панели из закаленного стекла: Цену новинки производитель не называет3

ВИКТОРИНА ASUSTOR

Процессор с какой архитектурой установлен в ASUSTOR AS6302T, благодаря которому производительно выросла на 30% по сравнению с прошлым поколением?
1318

iXBT TV

  • Обзор легкой, компактной и дешевой мясорубки Kitfort KT-2101 Carnivora

  • Обзор беззеркальной фотокамеры Fujifilm X-T20

  • Обзор кинотеатрального DLP-проектора BenQ W11000 с эмуляцией разрешения 4К

  • AMD Ryzen Threadripper 1920Х и 1950X — тестирование 12-ядерного и 16-ядерного процессоров

  • Обзор мини-ПК ECS Liva Z на базе процессора Apollo Lake

  • Самый лучший процессор, неудачи Microsoft, гибкие наушники Samsung

  • Обзор цветного МФУ Xerox VersaLink C405 для малых и средних офисов

  • Обзор умного чайника Redmond SkyKettle RK-G200S с подсветкой и нагревом воды до нужной температуры

  • Конфигурируем мини-ПК: изучаем влияние памяти и накопителя на быстродействие системы

  • 3D-карты AMD Radeon RX Vega, цены, спецификации, смартфон Meizu Pro 7

  • Обзор лазерного цветного МФУ Canon imageRunner Advance C3520i, младшего в новой линейке

  • Обзор робота-пылесоса iBoto Aqua V710 с функцией влажной уборки

1212

Календарь

сентябрь
Пн
Вт
Ср
Чт
Пт
Сб
Вс
1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 16 17 18 19 20 21 22 23 24 25 26 27 28 29 30

Рекомендуем почитать