TSMC начнет выпуск 65-нм чипов в 2005 году с применением иммерсионной литографии

1174

Как сообщила TSMC, компания собирается начать использование иммерсионных литографических инструментов для выпуска первых полупроводниковых микросхем с соблюдением норм 65-нм технологического процесса, планируемого на середину 2005 года.

В прошлом декабре TSMC приобрела 193-нм иммерсионный сканер у голландской компании ASML. Согласно последним планам компании, в этом сентябре сканер будет установлен на 300-мм заводе Fab 12.

Первоначально TSMC планирует использовать иммерсионный 193-нм сканер для изготовления сложных затворов и контактов по 65-нм нормам. В середине 2005 года компания надеется начать обработку опытных партий, в то время как остальные пока не планируют использовать иммерсионные технологии, обходясь «сухими» сканерами для 65-нм норм. Во-первых, TSMC надеется вдоволь «поиграть» с новым для промышленности видом сканеров, во-вторых, использование иммерсии (погружения в воду) позволит при одинаковой с «сухим» сканером числовой апертуре (0,85) достичь большей глубины резкости (380 нм вместо 180 нм), что облегчает борьбу с аберрациями оптики или неровностями поверхности полупроводниковой подложки.

Напомним, что успехи иммерсионной литографии сейчас позволяют говорить о продлении цикла использования 193-нм сканеров вплоть до 32-нм норм и отодвигают перспективы внедрения EUV-литографии на дальние рубежи, пока не будет решена проблема стоимости EUV (extreme ultraviolet, жесткий ультрафиолет) устройств. Возможно, что улучшение числовой апертуры (применение катадиоптрической оптики и т. п.) и увеличение показателя преломления (n) используемых для погружения жидкостей (для воды n составляет 1,43) может вообще вытеснить EUV, не говоря уже о 157-нм сканерах.

Ссылки по теме:

28 января 2004

13:41

Ctrl
ПредыдущаяСледующая

Все новости за сегодня

Разные фабрики выпускают отличающиеся друг от друга GPU Vega 10: GPU Vega 10 существует в нескольких вариантах6

Игровой ноутбук HP Omen X позволяет легко модернизировать начинку и заниматься разгоном: В продажу новинка поступит в ноябре6

ПК Dell Alienware Area 51 теперь можно купить с одним из трёх процессоров Intel Skylake-X: Dell обновила Alienware Area 511

Персональный помощник Samsung Bixby запущен в 200 странах мира, но пока понимает всего два языка: Пользователи Galaxy S8 и S8+ могут активировать Bixby нажатием соответствующей кнопки или командой Hi, Bixby10

PNY не увеличила видеокарте GeForce GTX 1060 XLR8 Gaming OC частоту памяти: PNY представила GeForce GTX 1060 XLR8 Gaming OC

Google готовится выпустить новый хромбук и уменьшенную версию домашнего помощника Home: Google выпустит новый Chromebook Pixel

Фронтальная 3D-камера iPhone 8 опередила конкурентов на два года: Все комплектующие фронтальной камеры Apple будут производиться TSMC37

Партнёр Lenovo опубликовал снимки и параметры смартфона Moto X4 до официального анонса: Moto X4 может в итоге не получить защиты от воды

Рекламный ролик смартфона Huawei Mate 10 сфокусирован на сдвоенной камере Leica: Цена Huawei Mate 10 составит около 1100 долларов3

Смартфон Sharp FS8008 является новой версией Sharp Aquos S2 с уменьшенным экраном: Основная камера получила два 12-мегапиксельных датчика изображения

Micromax Canvas Infinity — смартфон с дисплеем 18:9, ОС Android 7.1.2 и ценой в 155 долларов: Смартфон Micromax Canvas Infinity оснастили 3 ГБ ОЗУ

Huawei покажет свой процессор с системой ИИ 2 сентября: Данный процессор будет входить в состав SoC Kirin 9703

Samsung планирует снизить зависимость от Qualcomm уже в смартфоне Galaxy S9: Традиционно Samsung использует однокристальные системы Qualcomm примерно для половины своих флагманских смартфонов серии Galaxy S13

Экран смартфона Elephone S8 занимает 92,4% площади лицевой панели: Цена новинки составляет 280 долларов5

Опубликованы реальные фотографии смартфона Meizu M6 Note: Анонс новинки ожидается завтра

Смартфон Alcatel U5 HD относится к бюджетному сегменту: Cмартфон сохранит пятидюймовый дисплей, разрешение которого было повышено с 854 х 480 до 1280 х 720 пикселей

Появились изображения упаковок настольных процессоров Intel Core i5 и Core i7 восьмого поколения. Core i3 пока ждать не стоит: CPU Intel Core i5 и Core i7 восьмого поколения будут оснащены GPU UHD Graphics 63013

На передней панели корпуса Gigabyte Aorus AC300W разместилось шесть разъёмов : Gigabyte представила корпус Aorus AC300W с подсветкой 6

1318

iXBT TV

  • Обзор видеоускорителя AMD Radeon RX Vega 64

  • Обзор легкой, компактной и дешевой мясорубки Kitfort KT-2101 Carnivora

  • Обзор беззеркальной фотокамеры Fujifilm X-T20

  • Обзор кинотеатрального DLP-проектора BenQ W11000 с эмуляцией разрешения 4К

  • AMD Ryzen Threadripper 1920Х и 1950X — тестирование 12-ядерного и 16-ядерного процессоров

  • Обзор мини-ПК ECS Liva Z на базе процессора Apollo Lake

  • Самый лучший процессор, неудачи Microsoft, гибкие наушники Samsung

  • Обзор цветного МФУ Xerox VersaLink C405 для малых и средних офисов

  • Обзор умного чайника Redmond SkyKettle RK-G200S с подсветкой и нагревом воды до нужной температуры

  • Конфигурируем мини-ПК: изучаем влияние памяти и накопителя на быстродействие системы

  • 3D-карты AMD Radeon RX Vega, цены, спецификации, смартфон Meizu Pro 7

  • Обзор лазерного цветного МФУ Canon imageRunner Advance C3520i, младшего в новой линейке

1212

Календарь

январь
Пн
Вт
Ср
Чт
Пт
Сб
Вс

Рекомендуем почитать