Главная » Новости » 2002 » 03 » 21 21 марта 2002

193 нм сканеры Nikon использованы для выпуска 90 нм чипов. Не называя Intel

Без оглашения имени производителя чипов, Nikon Precision сегодня объявила о том, что ее 193 нм и 248 нм сканеры, а также i-line степперы были использованы для производства первых в индустрии полнофункциональных чипов с применением 90 нм техпроцесса. Такая скрытность в заявлении, скажем так, шита белыми нитками, так как на прошлой неделе, если помните, Intel на выставке CeBIT 2002 объявила о выпуске первых чипов SRAM с размером ячейки 1 кв. мкм, с применением норм 0,09 мкм техпроцесса. Кстати, Intel также отказалась назвать производителя 193 нм step-and-scan систем, примененных для выпуска прототипов чипов SRAM на 300 мм пластинах.

Nikon молчит о том, кто же использует ее 193 нм сканер NSR-305B второго поколения.

Впрочем в компании ASML, которая также рассматривалась Intel в качестве поставщика 193 нм инструментов, считают, что еще не все потеряно, так как, по завялениям представителей самой Intel, для фабрик, которые начнут в 2003 году массовое производство чипов с использованием норм 0,09 мкм техпроцесса, понадобятся различные 193 нм инструменты для различных линий от двух и, возможно, более чем двух поставщиков литографического оборудования. Обе компании - и ASML, и Nikon, наотрез отказываются обсуждать интересы своего крупнейшего заказчика, компании Intel.

10:16 21.03.2002
Оценить новость

Не работают комментарии или голосования? Читайте как почистить куки



ВИКТОРИНА MICROLAB

В каком году была основана компания Microlab?
март
Пн
Вт
Ср
Чт
Пт
Сб
Вс
2002

Нашли ошибку на сайте? Выделите текст и нажмите Shift+Enter

Код для блога бета

Выделите HTML-код в поле, скопируйте его в буфер и вставьте в свой блог.