Без оглашения имени производителя чипов, Nikon Precision сегодня объявила о том, что ее 193 нм и 248 нм сканеры, а также i-line степперы были использованы для производства первых в индустрии полнофункциональных чипов с применением 90 нм техпроцесса. Такая скрытность в заявлении, скажем так, шита белыми нитками, так как на прошлой неделе, если помните, Intel на выставке CeBIT 2002 объявила о выпуске первых чипов SRAM с размером ячейки 1 кв. мкм, с применением норм 0,09 мкм техпроцесса. Кстати, Intel также отказалась назвать производителя 193 нм step-and-scan систем, примененных для выпуска прототипов чипов SRAM на 300 мм пластинах.
Nikon молчит о том, кто же использует ее 193 нм сканер NSR-305B второго поколения.
Впрочем в компании ASML, которая также рассматривалась Intel в качестве поставщика 193 нм инструментов, считают, что еще не все потеряно, так как, по завялениям представителей самой Intel, для фабрик, которые начнут в 2003 году массовое производство чипов с использованием норм 0,09 мкм техпроцесса, понадобятся различные 193 нм инструменты для различных линий от двух и, возможно, более чем двух поставщиков литографического оборудования. Обе компании - и ASML, и Nikon, наотрез отказываются обсуждать интересы своего крупнейшего заказчика, компании Intel.