Matsushita Electric Industrial и IMEC, европейский независимый исследовательский центр по проблемам микроэлектроники, сообщают о начале совместных работ по созданию стеков с высокой диэлектрической постоянной (high-k), предназначенных для техпроцессов с размером элемента менее 65 нм.
С точки зрения ITRS (international technology roadmap for semiconductors), high-k стеки представляют собой серьезную проблему для будущих полупроводниковых технологий. IMEC в настоящее время проводит в жизнь две программы исследований, одна из которых посвящена применению усовершенствованных high-k диэлектриков и металлов в логических элементах 65-нм устройств, а вторая - high-k стеков.
Matsushita присоединилась к уже начатым исследованиям и, надо полагать, займется применением и тестированием новых технологий. Кроме того, IMEC уже ведет работу с Sematech и Hitachi.