Главная » Новости » 2003 » 02 » 14 14 февраля 2003

Nikon поставит первый EPL-продукт в июне 2003 года

Nikon сообщает, что сможет поставить первый коммерческий EPL (electron-beam projection lithography, электронно-лучевая литография)-продукт уже к июню текущего года.

Первый EPL-инструмент будет продан японской Selete (Semiconductor Leading Edge Technologies). Этот инструмент Nikon разрабатывает уже довольно давно, а оптическую часть, кстати, делает IBM. Утверждается, что скорость обработки составляет семь 300-мм полупроводниковых пластин в час. Инструмент предназначен для 65-нм техпроцессов, но в будущем возможно его применение и для 45-нм норм.

Источник: PC Watch

16:10 14.02.2003
Оценить новость

Не работают комментарии или голосования? Читайте как почистить куки



ОПРОС Micromax

С какой периодичностью вы меняете смартфоны?
февраль
Пн
Вт
Ср
Чт
Пт
Сб
Вс
2003

Нашли ошибку на сайте? Выделите текст и нажмите Shift+Enter

Код для блога бета

Выделите HTML-код в поле, скопируйте его в буфер и вставьте в свой блог.