Главная » Новости » 2003 » 07 » 06 6 июля 2003

Selete получила первую EPL-установку от Nikon

Компания Nikon объявила о том, что ее подразделение Nikon Precision Equipment приступило к поставке первой коммерческой электронно-лучевой литографической (electron projection lithography, EPL) системы. Первым заказчиком, получившим EPL-систему от Nikon, стала японская Selete (Semiconductor Leading Edge Technologies) – созданная в 1996 году R&D компания, акционерами которой являются десять ведущих японских производителей полупроводников.

EPL-система от Nikon, названная NSR-EB1A, имеет габариты 9 х 9,7 метров. Монтаж системы начат 28 июня. Для этого специально подготовлено сверхчистое помещение класса "Super Clean Room" в Цукуба (Tsukuba), префектура Ибараки. Начало эксплуатации системы, после сборки и настройки оборудования, ожидается в ноябре.

Система NSR-EB1A, или просто EB1, работает со специальными круглыми 200 мм масками на основе кремниевых пластин толщиной 2 мкм. Для увеличения производительности Nikon объединила технологию электронно-лучевой литографии с новыми оптическими проекционными системами, в разработке которых, кстати говоря, принимала участие IBM. По предварительным данным, скорость обработки заготовок новой системой составит порядка семи 300 мм пластин в час. Инструмент EB1 будет использоваться лишь для R&D работ с нормами 65 нм, для массового производства с нормами 65 нм, 45 нм и даже для исследований 32 нм техпроцесса будет выпущена версия EB2. Начало производства систем EB2 намечено в роадмэпе Nikon на конец 2004 года.

Источник: Parasound

09:13 06.07.2003
Оценить новость

Не работают комментарии или голосования? Читайте как почистить куки



Sorry, temp error.
Sorry, temp error.
июль
Пн
Вт
Ср
Чт
Пт
Сб
Вс
2003

Нашли ошибку на сайте? Выделите текст и нажмите Shift+Enter

Код для блога бета

Выделите HTML-код в поле, скопируйте его в буфер и вставьте в свой блог.