EUVA готова выпустить первый EUV-прототип в 2006

ПредыдущаяСледующая
1174

Консорциум, в который входят 9 японских компаний, занимающихся разработкой EUV-литографии, сообщил, что готов к 2006 году завершить разработку первого прототипа EUV-литографического инструмента(EUV- Extreme Ultraviolet Lithography или литография с применением жесткого ультрафиолетового излучения).

EUVA (Extreme Ultraviolet Lithography System Development Association) уже в течение длительного времени работает над созданием источников ультрафиолетового излучения с длиной волны 13,5 нм. Коммерческие EUV-сканеры скорее всего, потребуют мощности 110 Вт и более, в то время как современный уровень не превышает 0,6 Вт на выходе, а частота повторения импульсов – 10 кГц. Поэтому, кстати, сама же EUVA ранее не ожидала появления первых прототипов до 2007 года. Второй трудностью, которую требуется преодолеть, является создание высококачественной рефлективной оптики. Две японские лаборатории, Hiratsuka R&D и Gotenba, разрабатывают два альтернативных подхода к созданию мощных источников излучения: LPP (laser-produced plasma или плазма, созданная лазерным излучением) и DPP (discharge-produced plasma или плазма, созданная электрическим разрядом). Обе исследовательские группы планируют достичь уровня мощности в 4 Вт уже к марту 2004 года.

Впрочем, европейские и североамериканские группы не отстают от японцев в плане разработки ультрафиолетовых лазеров и готовы продемонстрировать даже 60-Вт лазеры с частотой повторения импульсов 4 кГц (Cymer, Xtreme Technologies и другие). А вот институт промышленной науки и технологии (AIST) работает над альтернативными источниками ультрафиолетового излучения, такими, как жесть (используя излучение плазмы, состоящей из ионов олова). Оловянный лазер AIST позволяет достичь высокой эффективности (около 5%, что почти в 10 раз лучше ксеноновых газовых лазеров) и ширины импульса 11 нм, однако его длина волны немного отличается от запланированных 13,5 нм, что в перспективе может стать проблемой.

2 сентября 2003 Г.

11:12

Ctrl
ПредыдущаяСледующая

Все новости за сегодня

Apple рассчитывает на помощь TSMC в разработке технологии micro-LED: Вопреки слухам, Apple не прекращает разработку micro-LED2

Google решит проблему с разговорным динамиком Pixel 2 в очередном обновлении: Обновление, исправляющее проблему с динамиком Pixel 2, выйдет в ближайшие недели5

Видео дня: Windows 95 и Simcity 2000 на смартфоне Apple iPhone X: Смартфон Apple iPhone X превосходит персональные компьютеры, для которых в свое время создавалась Windows 9515

Qualcomm сможет получить разрешение японских регуляторов на покупку NXP: Сделка между Qualcomm и NXP все может состояться до конца года

Новый среднебюджетный смартфон Sony получит SoC Snapdragon 630 и ОС Android 8.0: Смартфон Sony H4133 получит Snapdragon 630

Сканер отпечатка пальцев у смартфона OnePlus 5T выполнен из керамики: OnePlus 5T хорошо справился с испытаниями JerryRigEverything

Apple сократила команду, работающую над технологией micro-LED в связи с технологическими проблемами: Устройств Apple с экранами micro-LED в ближайшее время ожидать не стоит10

Производители умных акустических систем в следующем году начнут наделять их нетипичными возможностями: Умные АС получат пико-проекторы и 3D-объективы3

Marvell покупает Cavium примерно за 6 млрд долларов: Капитализация Marvell оценивается в 10 млрд долларов2

В лондонских автобусах будет использоваться биотопливо B20 на основе кофе : Лондонские автобусы будут использовать в качестве топлива кофе16

Смартфону Apple iPhone SE 2 приписывают параметры iPhone 7 и дизайн iPhone 5: Apple iPhone SE 2 может появиться весной 86

В мобильных сетях на долю Android приходится почти 70% заражений вредоносным ПО: iOS почти не подвержена вирусным атакам37

Аналитики прогнозируют рост спроса на плоские панели: Спрос на плоские панели в следующем году покажет существенный рост1

Представлен смартфон Vivo V7 с 24-мегапиксельной фронтальной камерой: Цена новинки составляет около 290 долларов5

Polaroid обвиняет Fujifilm в нарушении прав на квадратные фотографии: И требует многомиллионную компенсацию22

«Заряженная» версия нового Tesla Roadster будет еще более динамичной: Очевидно, что мы услышим еще много обещаний, только проверить их тестеры смогут не раньше 2020 года25

Apple открыла центр для посетителей в своей новой штаб-квартире: Сама территория Apple Park продолжает достраиваться и облагораживаться7

Ученые создали кевларовую хрящевую ткань: Ученые уже провели ряд испытаний, доказав прекрасные характеристики нового материала12

Опубликованы фотографии прототипа смартфона Aurora: Возможно, это Huawei P11 Plus или Nova 34

Promise Technology выпустила хаб с пятью разъемами USB-A, двумя Thunderbolt 3 и слотом для карт памяти SD: Стоит такой аксессуар внушительные 249 долларов9

Смартфон Samsung Galaxy S9 набрал 7787 баллов в Geekbench: В однопоточном тесте результат составил 2680 баллов, в многопоточном устройство набрало 7787 баллов46

Гарнитура Razer Hammerhead получила разъем USB-C: Новинка стоит 80 долларов6

В Германии запретили детские умные часы: В частности, сообщается, что родители подслушивают, что именно говорят учителя на занятиях87

Ulefone Power 3 станет первым долгоиграющим смартфоном, который получит Android 8.1 Oreo из коробки: Выход Ulefone Power 3 ожидается в декабре

Принята спецификация, описывающая оптоволоконное подключение длиной до 2 км, поддерживающее скорость 400 Гбит/с: Такие соединения предназначены для использования в вычислительных центрах

Моноблок Apple iMac Pro получит SoC A10 Fusion для реализации возможности запуска Siri посредством лишь голосовой команды: Моноблок Apple iMac Pro будет постоянно слушать пользователя28

Карманный прибор PocketLab Air позволяет следить за загрязнением атмосферы: PocketLab Air измеряет уровень CO2, озона и твердых частиц8

Смартфоны OnePlus 3 и OnePlus 3T уже начали получать обновление до Android 8.0: Смартфоны OnePlus 3 и OnePlus 3T начали обновляться до Android Oreo1

997
1318

iXBT TV

  • Обзор материнской платы Z370 Aorus Gaming 7 под процессоры Coffee Lake

  • Обзор аккумуляторной дрели-шуруповерта Bosch GSR 12V-15 FC Professional

  • Заводские экзоскелеты, обновление Firefox, слишком умные наушники

  • Репортаж с конференции Supercomputing 2017 (SC17), день 3: стенд группы компаний РСК

  • Репортаж с конференции Supercomputing 2017 (SC17), день 2: стенд Intel

  • Репортаж с конференции Supercomputing 2017 (SC17), день 1: рейтинг Top500

  • Обзор кинотеатрального DLP-проектора LG PF1000U со встроенным ТВ-тюнером

  • Камера Panasonic G9, унитазный робот, игровой смартфон, кепка для водителей

  • Обзор портативной беспроводной колонки Sven PS-460

  • Обзор напольного пылесоса Tefal Silence Force 4A TW6477 с одноразовыми мешками для сбора мусора

  • Обзор сверхширокоугольного зум-объектива Canon EF 16-35mm f/2.8L III USM

  • Обзор изогнутого 34-дюймового IPS-монитора LG 34UC99 с соотношением сторон 21:9 и белым корпусом

1212

Календарь

сентябрь
Пн
Вт
Ср
Чт
Пт
Сб
Вс
1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 16 17 18 19 20 21 22 23 24 25 26 27 28 29 30

Рекомендуем почитать