Ультрафиолетовая литография

Компактный лазер с ультрафиолетовым «штопором» 193 нм: китайские учёные объединили нанолитографию, защиту данных и манипуляцию наночастицами в одной системе

Технология в 3,5 раза эффективнее аналогов и может заменить громоздкие газовые лазеры на заводах