Плазменное травление

Южнокорейские учёные создали «прозрачную» высокоэнтропийную керамику с рекордной устойчивостью к плазме для полупроводниковой промышленности

Новый материал демонстрирует скорость травления всего 1,13% по сравнению с сапфиром