Компания ASML ранее уже предупреждала, что её установка High-NA Twinscan EXE EUV для производства полупроводников будет очень дорогой. Согласно свежим данным, она вдвое дороже системы прошлого поколения.
Новая установка с высоким числом апертуры будет стоить около 380 млн долларов, тогда как машина Low-NA Twinscan NXE EUV стоит около 170 млн долларов.
Несмотря на сумасшедшую цену, ASML уже имеет заказы на 10–20 машин от таких гигантов, как Intel, Hynix и других. К 2028 году компания планирует производить по 20 таких установок в год.
High-NA Twinscan EXE EUV — венец творения ASML. Каждая такая установка весит 150 тонн, а на её сборку 250 инженеров потратят полгода!
High-NA EUV Twinscan EXE способна обеспечить разрешение 8 нм (не путать с техпроцессом), что значительно лучше существующих EUV-сканеров с низкой числовой апертурой, которые могут достигать только 13 нм за одну экспозицию.
Это позволяет использовать транзисторы примерно в 1,7 раза меньше, что приводит к почти трёхкратному увеличению плотности транзисторов. Кроме того, всё это критически важно для производства чипов по техпроцессам менее 3 нм, к которым компании уже подобрались максимально близко.