«Росатом» за 257 млн рублей создаст российскую установку для производства микроэлектроники

В России создадут отечественный аналог словенской установки KEKO CAM-C35, которая используется при производстве компонентов для микроэлектроники. Разработкой оборудования займется АО «НИИграфит», входящее в структуру «Росатома». Контракт с Минпромторгом заключен на 257 млн рублей.

Новая установка предназначена для изготовления необожженной керамической ленты методом ленточного литья. Этот материал применяется при производстве многослойных керамических подложек и керамических плат — основы для корпусов и других элементов современной микроэлектроники.

По условиям технического задания оборудование должно обеспечивать высокую точность формирования керамической ленты по толщине, ширине и качеству поверхности. Кроме того, установка получит автоматизированную систему управления с возможностью хранения технологических рецептов, разграничением прав доступа и функцией аварийной остановки при возникновении критических отклонений.

Одним из ключевых требований проекта стала максимальная локализация производства. Отечественными должны быть основные узлы установки, включая системы нанесения покрытия, резки и контроля толщины, а также материалы, используемые при испытаниях.

Разработчики также должны обеспечить срок службы оборудования не менее 10 лет и наработку на отказ не менее 1000 часов.

Контракт предусматривает завершение работ до 31 октября 2028 года. По итогам конкурса «НИИграфит» оказался единственным участником и получил заказ по цене 257 млн рублей — примерно на 9,5% ниже начальной стоимости закупки.