Canon готовит к выпуску 157-нм сканер — Archont @ 25.02.2003 13:40

Несмотря на слухи о сворачивании деятельности, подразделение Semiconductor Equipment Division компании Canon сообщает о том, что уже во второй половине 2003 года начнутся поставки 157-нм сканеров.

Основные характеристики сканера FPA-5800FS1:

• Числовая апертура: 0,80
• Масштаб: 1 к 5
• Размер рабочей области 22х26 мм
• Длина волны источника света: 157 нм
• Размер пластины: 200 мм или 300 мм