В рамках развития своего роадмэпа по выпуску литографических инструментов, Nikon объявила о заключении соглашения с другой японской компанией, Tokyo Electron (TEL), о совместной разработке так называемой иммерсионной (или по другому, жидкостной) технологии.
Согласно договору, компании планируют объединить усилия в разработке технологии иммерсионной литографии с целью продления технологического ресурса 193 нм экспозиционных систем. Помимо этого, соглашение подразумевает совместную работу Nikon и TEL с поставщиками новых типов фоторезистов.
В самых ближайших планах компаний – завершение к концу 2003 года сверки уже разработанных элементов устройств иммерсионной литографии и переход к стадии массового производства по мере готовности новой технологии.
Подробнее о технологии иммерсионной литографии можно почитать здесь: