Консорциум G450C использует лазер Gigaphoton GT64A в разработке серийного техпроцесса с использованием пластин диаметром 450 мм

ПредыдущаяСледующая

Отсутствие в последнее время новостей о том, как отрасль осваивает или хотя бы собирается осваивать полупроводниковое производство с использованием пластин диаметром 450 мм, могло навести на мысль, что движение в это направлении прекратилось. Однако, это не так.

На сайте компании Gigaphoton, являющейся основным производителем источников света для литографии, появилось сообщение о том, что флагманская модель мощного эксимерного лазера GT64A для иммерсионной литографии, рабочим телом которого является смесь аргона и фтора (ArF), будет использоваться участниками консорциума Global 450 Consortium (G450C) в качестве источника света для первого сканера, рассчитанного на пластины размером 450 мм. Мощность лазера — 120 Вт.

Мощность лазера GT64A — 120 Вт

Лазер будет установлен в Олбани, штат Нью-Йорк, на площадке университета штата (SUNY), точнее говоря, входящего в его состав колледжа нанотехнологий (CNSE). Этот колледж является штаб-квартирой консорциума G450C, в который входят компании Intel, IBM, Globalfoundries, TSMC и Samsung.

Лазер будет использоваться для тестирования и разработки техпроцесса, рассчитанного на массовое производство микросхем с использованием пластин диаметром 450 мм. Доставка лазера в CNSE намечена на апрель 2015 года.

Напомним, летом прошлого года компания Nikon получила заказ на 450-миллиметровый иммерсионный сканер для G450C.

Источник: Gigaphoton

18 февраля 2014 Г.

09:30

Ctrl
ПредыдущаяСледующая

Все новости за сегодня

Archos Citee Connect — первый самокат с ОС Android: Электросамокат Archos Citee Connect стоит 500 евро6

Apple получила звание самой инновационной компании 2018 года, не представив ни одного инновационного продукта: Apple назвали самой инновационной компанией текущего года20

Spotify, вероятно, тоже выпустит свою умную акустическую систему: Spotify тоже выйдет на рынок умных АС

Новые слухи утверждают, что iPhone SE 2 представят в июне на WWDC 2018: Смартфону iPhone SE 2 приписывают даже беспроводную зарядку11

Нашла коса на камень. JerryRigEverything протестировал защищённый смартфон CAT S41: CAT S41 выдержал испытания JerryRigEverything1

Начат серийный выпуск SSD Samsung PM1643 объемом 30,72 ТБ: Самые емкие в отрасли SSD Samsung PM1643 предназначены для корпоративного сегмента29

Google тестирует технологию, которая позволит достаточно точно определять местоположение абонента, звонящего в службу спасения: Google хочет, чтобы служба 911 имела точное местоположение звонящего23

Sony работает над технологией искусственного интеллекта, которая позволит улучшить эффективность работы сервисов такси: Sony создаёт ИИ для таксистов3

Игровой смартфон Xiaomi Black Shark получит SoC Snapdragon 845 и 8 ГБ оперативной памяти: Игровой смартфон Xiaomi Black Shark может получить малый объём флэш-памяти7

iXBT TV

  • Обзор экшн-камеры Gmini MagicEye HDS8000 с ненастоящим 4K-видео

  • Обзор многофункционального сетевого CD-ресивера Pioneer NC-50DAB

  • Обзор блока питания Thermaltake Toughpower iRGB Plus 1250W Titanium с программно-аппаратным комплексом мониторинга

  • [6.07] Подкаст PRO игры: cтрасти вокруг Kingdom Come: Deliverance, вымирание слэшеров, русский колорит

  • Обзор компактной фотокамеры Sony RX10 IV с сенсором 1″ и несменным 25-кратным зум-объективом

  • Обзор карты памяти SanDisk Extreme Pro CFast 2.0 емкостью 128 ГБ

  • Обзор портретного объектива Fujinon XF 50mm f/2 R WR для компактных беззеркальных камер Fujifilm

  • Запуск Falcon Heavy, убытки Илона Маска, умные очки Intel

  • Обзор недорогого корпуса Deepcool Earlkase RGB со стеклянной стенкой и RGB-подсветкой

  • Обзор кинокамеры Canon EOS C200: съемка 4K-видео с высокой частотой кадров в формате Cinema RAW Light

  • Обзор «камуфляжного» игрового ноутбука MSI GE62VR 7RF Camo Squad Limited Edition

  • Обзор светосильного широкоугольного объектива Nikon AF-S Nikkor 28mm f/1.4E ED

Календарь

февраль
Пн
Вт
Ср
Чт
Пт
Сб
Вс