Лазер Gigaphoton GT64A подходит для фотолитографии с использованием пластин диаметром 450 мм

ПредыдущаяСледующая

Японская компания Gigaphoton, специализирующаяся на выпуске источников света для фотолитографии, объявила о доступности для заказов эксимерного аргон-фторидного (ArF) лазера Gigaphoton GT64A. По словам производителя, этот лазер подходит для фотолитографии с использованием 450-миллиметровых пластин.

Унаследовав у своих предшественников двухкамерную архитектуру и проверенные технологии управления выходной мощностью и выравнивания луча, новый лазер отличается повышенной мощностью и стабильностью, а также максимальными по отрасли показателями надежности и срока службы.

Лазер имеет чрезвычайно высокую эффективность, а его мощность достигает 120 Вт. Выходная мощность может автоматически подстраиваться на оптимальный уровень световой энергии с учетом особенностей конкретного техпроцесса.

В числе достоинств лазера — высокая стабильность энергетических и спектральных характеристики и характеристик луча, в сочетании с импульсами увеличенной длительности позволяющая повысить точность работы и улучшить качество краев, что чрезвычайно важно для литографии с многократным формированием структур.

Производитель также отмечает снижение эксплуатационных затрат, связанных с энергопитанием и охлаждением, до «самого низкого возможного уровня».

Подробная информация о новом лазере Gigaphoton будет представлена на мероприятии SPIE Advanced Lithography 2013, которое пройдет с 24 по 28 февраля в Сан-Хосе, Калифорния.

Источник: Gigaphoton

19 февраля 2013 Г.

08:00

Ctrl
ПредыдущаяСледующая

Все новости за сегодня

Xiaomi и Microsoft договорились о стратегическом партнерстве: Сотрудничество охватит устройства, облачные вычисления и искусственный интеллект

Опубликована первая фотография смартфона Xiaomi Mi 7: Основная камера включает два модуля, расположенные в левой верхней части задней панели друг над другом5

Появились первые изображения объектива Leica DG Vario-Elmarit 50-200mm f/2.8-4.0 ASPH Power OIS: Объектив Leica DG Vario-Elmarit 50-200mm f/2.8-4.0 ASPH Power OIS предназначен для камер системы Micro Four Thirds1

Видео дня: официальная презентация Samsung Galaxy S9 утекла в Сеть до анонса: Остается лишь дождаться подтверждения цены и даты выхода34

Пользователей YouTube начали отписывать от неофициальных музыкальных каналов: И подписывать на официальные каналы исполнителей12

Apple переносит данные китайских пользователей iCloud на территорию КНР: Apple добавила, что подобные перемены вовсе не подразумевают свободный доступ со стороны правительства к пользовательским данным5

Новый флагманский смартфон LG Judy получит громкоговорители Boombox и выйдет только в июне: Что касается названия, то устройство может называться не LG G7, как следовало бы его окрестить по порядку, а LG G91

Смартфон Leagoo Power 5 получит аккумулятор «честной» емкостью 7000 мА•ч : Анонс устройства ожидается 26 февраля2

Sony Xperia XZ2 и Xperia XZ2 Compact: официальные изображения и новые подробности: Sony Xperia XZ2 и Xperia XZ2 Compact будут полностью рассекречены уже завтра35

iXBT TV

  • ИИ в опасности, 10 000-летние часы, Apple представляет "будущее сегодня"

  • Обзор сетевого накопителя Synology DS918+ на 4 винчестера

  • Обзор экшн-камеры Gmini MagicEye HDS8000 с ненастоящим 4K-видео

  • Обзор многофункционального сетевого CD-ресивера Pioneer NC-50DAB

  • Обзор блока питания Thermaltake Toughpower iRGB Plus 1250W Titanium с программно-аппаратным комплексом мониторинга

  • [6.07] Подкаст PRO игры: cтрасти вокруг Kingdom Come: Deliverance, вымирание слэшеров, русский колорит

  • Обзор компактной фотокамеры Sony RX10 IV с сенсором 1″ и несменным 25-кратным зум-объективом

  • Обзор карты памяти SanDisk Extreme Pro CFast 2.0 емкостью 128 ГБ

  • Обзор портретного объектива Fujinon XF 50mm f/2 R WR для компактных беззеркальных камер Fujifilm

  • Запуск Falcon Heavy, убытки Илона Маска, умные очки Intel

  • Обзор недорогого корпуса Deepcool Earlkase RGB со стеклянной стенкой и RGB-подсветкой

  • Обзор кинокамеры Canon EOS C200: съемка 4K-видео с высокой частотой кадров в формате Cinema RAW Light

Календарь

февраль
Пн
Вт
Ср
Чт
Пт
Сб
Вс