Carl Zeiss получила два заказа на оборудование для литографии в жестком ультрафиолетовом диапазоне

Список потенциальных заказчиков включает GLOBALFOUNDRIES, Intel, Samsung Electronics и TSMC

ПредыдущаяСледующая

По сообщению компании Carl Zeiss, она получила заказы от двух из четырех членов альянса SEMATECH EMI Partnership на системы дефектоскопического контроля AIMS EUV. Эти системы предназначены для работы с масками для литографии в жестком ультрафиолетовом диапазоне (extreme ultraviolet lithography, EUVL).

Какие именно компании заказали оборудование, предназначенное для перспективных техпроцессов, неизвестно. Однако известно, что членами SEMATECH EMI Partnership являются компании GLOBALFOUNDRIES, Intel, Samsung Electronics и TSMC. Напомним также, что в феврале прошлого года была отгружена первая в мире предсерийная установка для EUVL, причем заказчиком считается Samsung Electronics.

В разработке вышеупомянутой системы контроля наряду со специалистами подразделения Carl Zeiss Semiconductor Metrology Systems Division принимали участие их коллеги из других отделений Carl Zeiss, а также сотрудники компаний-партнеров Carl Zeiss SMT.

Такое, казалось бы, узкоспециализированное сообщение на самом деле представляет интерес для всех, кто следит за развитием технологий в полупроводниковой отрасли. Дело в том, что с технологией EUVL связаны надежды на дальнейшее уменьшение норм техпроцесса. Заказывая системы контроля масок, основные участники отрасли фактически подтверждают свой выбор в пользу технологии EUVL. Следует уточнить, что очередность размещения заказов была оговорена при формировании консорциума EMI, так что два оставшихся его участника со временем тоже получат системы AIMS EUV в свое распоряжение.

По словам Carl Zeiss, используя AIMS EUV, производители получат возможность разрабатывать и изготавливать свободные от дефектов маски для EUVL, рассчитанные на нормы 16 нм. Первая версия системы, предназначенная для использования в серийном производстве, будет отгружена в третьем квартале 2014 года.

Источник: Carl Zeiss

30 апреля 2012 Г.

08:00

Ctrl
ПредыдущаяСледующая

Все новости за сегодня

Представлен гоночный электромобиль Volkswagen I.D. R Pikes Peak:

Sony и университет Карнеги-Меллона хотят создать роботов-поваров: Отправной точкой послужат существующие роботы-манипуляторы и мобильные роботы10

Intel научит антивирусное ПО использовать при сканировании памяти возможности GPU: Это сильно ускорит процесс и снизит загрузку процессора3

Google Maps пробует объяснять маршруты, используя наглядные ориентиры: Пока неизвестно, в каких именно регионах проходит тестирование новой возможности2

По оценке ABI Research, распознавание лиц на смартфонах в пять раз проще обмануть, чем распознавание отпечатков пальцев: Аналитики ABI Research добрались до дактилоскопического датчика смартфона Vivo X20 Plus UD8

Семейство смартфонов-долгожителей Doogee BL пополнилось моделью BL9000: Устройство оснащено 6-дюймовым экраном и АКБ емкостью 9000 мА·ч

Xiaomi готовит смартфон, который по части параметров будет уступать Redmi 5 Plus, а по некоторым пунктам превзойдёт Redmi Note 5 Pro: Он получит бюджетные параметры, но полностью металлический корпус2

Huawei хочет научить искусственный интеллект различать человеческие эмоции: Подобные технологии сильно изменят голосовых помощников

Экзоскелет FlyJacket предназначен для интуитивного управления дроном: Для обратной связи используется гарнитура VR2

iXBT TV

  • Второе поколение Ryzen, флагманский Honor 10, Telegram не сдается

  • Обзор «умного» мультипекаря Redmond SkyBaker RMB-M657/1S

  • Обзор вертикального аккумуляторного циклонного пылесоса Kitfort KT-527

  • Клавиатура TT eSports Premium X1 RGB – богатые возможности

  • Обзор источника бесперебойного питания APC Smart-UPS On-line SRC1KI

  • Apple работает над модульным ПК и процессором, слайдер-смартфон, Tesla должна ответить

  • Обзор инсталляционного проектора Panasonic PT-MZ670E с лазерно-люминофорным источником света

  • Обзор перфоратора Bosch GBH 2-26 DFR Professional

  • Обзор среднебюджетного блока питания Cougar GX-S 750

  • Представлены Apple iPad 2018, Huawei P20 и P20 Pro, Xiaomi Mi Mix 2s!

  • Обзор микрокомпьютера Intel Compute Card размером с кредитку

  • Обзор экшн-камеры Insta360 Pro: съемка сферических 8K-панорам

Календарь

апрель
Пн
Вт
Ср
Чт
Пт
Сб
Вс