Сканер для сухой литографии Nikon NSR-S320F дополнит иммерсионные системы при переходе к технологиям 20-нанометрового класса

ПредыдущаяСледующая

У потребителей имя компании Nikon ассоциируется, в первую очередь, с фототехникой. Между тем, японская компания является крупным поставщиком передового оборудования для производства полупроводниковой продукции. Сегодня компания Nikon объявила о выпуске сканера NSR-S320F для сухой фотолитографии. Новинка характеризуется высокой производительностью и точностью совмещения слоев. Совместимость S320F на уровне платформы Streamlign Platform с уже эксплуатируемыми иммерсионными сканерами NSR-S620D и модульная структура Modular2, по словам производителя, позволяет снизить затраты на развертывание и стоимость эксплуатации.

Отрасль сейчас находится на переходе к массовому выпуску продукции по технологии 20-нанометрового класса, в которой для ключевых слоев используется иммерсионная литография и двойное шаблонирование. Вместе с тем, для снижения стоимости многие слои будут, по-прежнему, обрабатываться с помощью сухой литографии с одной экспозицией. Чтобы это стало возможным, сканеры для сухой литографии должны соответствовать по производительности и точности иммерсионным системам, подчеркивает Nikon. В случае NSR-S320F эти требования полностью удовлетворены.

За один час сканер может обработать до 200 пластин. Система контроля NSR-S320F, построенная на применении интерферометров, обеспечивает точность позиционирования не хуже 3 нм. Поставки NSR-S320F начинаются в текущем квартале.

Источник: Nikon Precision

5 декабря 2011 Г.

18:49

Ctrl
ПредыдущаяСледующая

Все новости за сегодня

Samsung занимает почти половину корейского рынка смартфона: Купертиновцы немного прибавили за последний год

На крышу кампуса Apple Park рухнул дрон: Дрон упал на крышу Apple Park1

Видеоролик демонстрирует концепт смартфона Nokia 10 с пятью поворотными объективами: На задней панели находятся две 16-мегапиксельные камеры, а также система поворотных объективов с пятью разными диафрагмами

Смартфон Nokia 4 может получить SoC Snapdragon 450: В Китае и других азиатских странах устройство выйдет под другим названием

Samsung получила 90,1% всей выручки на рынке OLED в прошлом квартале: Аналитики Display Supply Chain Consultants оценили рынок OLED2

Intel рассказала о прототипе дискретного GPU, состоящего из двух кристаллов: Intel работает над дискретным GPU?1

С сегодняшнего дня пользоваться смартфонами с Windows Phone 7.5 и Windows Phone 8 станет ещё сложнее: Microsoft отключает push-уведомления на Windows Phone 7.5 и Windows Phone 815

Vernee готовится представить новые серии смартфонов: Vernee V2 станет вторым защищенным смартфоном компании, он оснащен экраном с соотношением сторон 18:9 и четырьмя камерами

«Пятерную» камеру в итоге может получить смартфон Nokia 8 Pro: Nokia 8 Pro получит уникальную камеру и SoC Snapdragon 8453

iXBT TV

  • Обзор блока питания Thermaltake Toughpower iRGB Plus 1250W Titanium с программно-аппаратным комплексом мониторинга

  • [6.07] Подкаст PRO игры: cтрасти вокруг Kingdom Come: Deliverance, вымирание слэшеров, русский колорит

  • Обзор компактной фотокамеры Sony RX10 IV с сенсором 1″ и несменным 25-кратным зум-объективом

  • Обзор карты памяти SanDisk Extreme Pro CFast 2.0 емкостью 128 ГБ

  • Обзор портретного объектива Fujinon XF 50mm f/2 R WR для компактных беззеркальных камер Fujifilm

  • Запуск Falcon Heavy, убытки Илона Маска, умные очки Intel

  • Обзор недорогого корпуса Deepcool Earlkase RGB со стеклянной стенкой и RGB-подсветкой

  • Обзор кинокамеры Canon EOS C200: съемка 4K-видео с высокой частотой кадров в формате Cinema RAW Light

  • Обзор «камуфляжного» игрового ноутбука MSI GE62VR 7RF Camo Squad Limited Edition

  • Обзор светосильного широкоугольного объектива Nikon AF-S Nikkor 28mm f/1.4E ED

  • Обзор СВО Thermaltake Floe Riing RGB 360 TT Premium Edition

  • Шпионские страсти, огнеметы Илона Маска, как оказаться вне закона

Календарь

декабрь
Пн
Вт
Ср
Чт
Пт
Сб
Вс