IMEC рассчитывает на появление 450-миллиметровой фабрики в 2015 году

Производство с использованием 450-миллиметровых пластин будет освоено в 2016 году

Институт IMEC, недавно подписавший соглашение с ASML о дальнейшем сотрудничестве, рассчитывает на появление 450-миллиметровой фабрики в 2015 году.

По мнению руководителя института, в 2012 году будут готовы инструменты для метрологического тестирования и работы с пластинами диаметром 450 мм, а разработка техпроцесса будет завершена в период с 2013 по 2016 год. В 2016 году будет освоено производство.

Первая литографическая система, работающая с 450-миллиметровыми подложками и использующая источник жесткого ультрафиолетового излучения, появится в 2015 году, полагают в IMEC. К тому времени институту понадобится «чистая комната» для работы с 450-миллиметровыми пластинами.

Уверенность IMEC в том, что переход к 450-миллиметровые пластины состоится, основана на создании отраслевого альянса под названием Global 450 Consortium, в который вошли компании Intel, IBM, Samsung, TSMC и Globalfoundries.

Источник: EE Times

Автор:

Все новости за сегодня

Календарь

октябрь
Пн
Вт
Ср
Чт
Пт
Сб
Вс