Globalfoundries рассматривает возможность использования безмасочной технологии при переходе к нормам менее 20 нм

ПредыдущаяСледующая

Производители полупроводниковой продукции продолжают осваивать более тонкие нормы техпроцесса, приближаясь к моменту, когда придется выбрать новую технологию литографии.

Компании по-разному выстраивают свою стратегию. В частности, Globalfoundries предлагает единственный вариант 28-нанометрового техпроцесса — с использованием диэлектриков с высокой диэлектрической постоянной и металлическими затворами (high-k/metal-gate). Основной конкурент, TSMC, предлагает как этот вариант, так и вариант с затворами из поликристаллического кремния. Кроме того, TSMC настойчиво стремится к использованию 450-миллиметровых пластин, тогда как Globalfoundries и другие участники альянса во главе с IBM не спешат с переходом на пластины большего диаметра.

Globalfoundries высоко оценивает потенциал EUV и недавно стала проявлять больший интерес к безмасочной литографии. В свою очередь, TSMC делает ставку именно на отказ от масок, но не списывает со счетов и EUV. Партнером TSMC по поставке оборудования выступает ASML Holding NV. Globalfoundries работает сразу с двумя поставщиками — ASML и Nikon. В прошлом году у ASML было заказано серийное оборудование для EUV.

Начиная с 45-нанометрового техпроцесса, Globalfoundries применяет иммерсионную литографию с длиной волны 193 нм. По мнению компании, эта технология позволит дойти, по крайней мере, до норм 20 нм. На этапе 20 нм Globalfoundries планирует предложить заказчикам два варианта техпроцесса: EUV и иммерсионный, с длиной волны источника 193 нм и двойными шаблонами. Ожидается, что EUV будет дешевле, но пока эта технология далека от серийного производства.

Компания рассчитывает установить оборудование для EUV, заказанное у ASML, во второй половине 2012 года. Тогда же начнется пилотное производство, к 2013 году будут приняты первые заказы на выпуск по нормам 22 и 20 нм, а к 2014 или 2015 году компания надеется использовать EUV в массовом производстве.

С какой технологией будет связано дальнейшее продвижение в микромир, пока неясно. Известно лишь, что компания рассматривает возможности безмасочной литографии. Сейчас эту технология считают перспективной для выпуска небольших партий продукции и изготовления заказных больших интегральных схем.

Источник: EE Times

3 марта 2011 Г.

19:25

Ctrl
ПредыдущаяСледующая

Все новости за сегодня

Состоялся долгожданный анонс флагманского смартфона Samsung Galaxy S9 : По сути, главных отличий от предшественника не так уж и много77

Представлен смартфон Nokia 1: ОС Android 8.1 Oreo (Go edition), защита IP52 и цена $85: Nokia 1 оснащен экраном диагональю 4,5 дюйма и четырехъядерным процессором20

Смартфон Alcatel 5 построен на SoC MediaTek MT6750 и оценен в 230 евро: Alcatel 5 получил экран с соотношением сторон 18:9 и сдвоенную фронтальную камеру2

Представлены планшеты Huawei MediaPad M5: MediaPad M5 — первые планшеты компании Huawei, которые получили изогнутое стекло 2,5D1

Планшетные компьютеры начального уровня Alcatel 1T работают под управлением ОС Android 8.1 Oreo: В серию вошли модели с экранами диагональю 7 и 10,1 дюйма2

На MWC 2018 представлен ноутбук Huawei MateBook X Pro: Цена Huawei MateBook X Pro начинается с отметки 1499 евро2

Представлен Alcatel 1x – первый смартфон с ОС Android Oreo (Go Edition): Alcatel 1x оценен в 100 евро2

Dropbox рассчитывает привлечь до 500 млн долларов за счет первичного размещения акций: По всему миру платными услугами Dropbox пользуются 11 млн человек1

Archos рассчитывает в этом году полностью покрыть города Франции сетью PicoWAN : В ходе MWC 2018 компания раздаст 1000 маршрутизаторов и тестовых наборов оборудования8

Смартфоны Samsung Galaxy S9 и Galaxy S9+ в России оценены в 59 990 и 66 990 руб. соответственно: Samsung Galaxy S9 и Galaxy S9+ поступят в продажу 16 марта этого года38

Представлены смартфоны LG V30S ThinQ и V30S+ ThinkQ : LG V30S ThinQ получил умные системы Vision AI и Voice AI, которые, как видно по названию, опираются в своей работе на систему искусственного интеллекта11

Xiaomi и Microsoft договорились о стратегическом партнерстве: Сотрудничество охватит устройства, облачные вычисления и искусственный интеллект 5

Опубликована первая фотография смартфона Xiaomi Mi 7: Основная камера включает два модуля, расположенные в левой верхней части задней панели друг над другом28

Появились первые изображения объектива Leica DG Vario-Elmarit 50-200mm f/2.8-4.0 ASPH Power OIS: Объектив Leica DG Vario-Elmarit 50-200mm f/2.8-4.0 ASPH Power OIS предназначен для камер системы Micro Four Thirds2

Видео дня: официальная презентация Samsung Galaxy S9 утекла в Сеть до анонса: Остается лишь дождаться подтверждения цены и даты выхода57

Пользователей YouTube начали отписывать от неофициальных музыкальных каналов: И подписывать на официальные каналы исполнителей17

Apple переносит данные китайских пользователей iCloud на территорию КНР: Apple добавила, что подобные перемены вовсе не подразумевают свободный доступ со стороны правительства к пользовательским данным9

Новый флагманский смартфон LG Judy получит громкоговорители Boombox и выйдет только в июне: Что касается названия, то устройство может называться не LG G7, как следовало бы его окрестить по порядку, а LG G91

Смартфон Leagoo Power 5 получит аккумулятор «честной» емкостью 7000 мА•ч : Анонс устройства ожидается 26 февраля3

Sony Xperia XZ2 и Xperia XZ2 Compact: официальные изображения и новые подробности: Sony Xperia XZ2 и Xperia XZ2 Compact будут полностью рассекречены уже завтра41

iXBT TV

  • ИИ в опасности, 10 000-летние часы, Apple представляет "будущее сегодня"

  • Обзор сетевого накопителя Synology DS918+ на 4 винчестера

  • Обзор экшн-камеры Gmini MagicEye HDS8000 с ненастоящим 4K-видео

  • Обзор многофункционального сетевого CD-ресивера Pioneer NC-50DAB

  • Обзор блока питания Thermaltake Toughpower iRGB Plus 1250W Titanium с программно-аппаратным комплексом мониторинга

  • [6.07] Подкаст PRO игры: cтрасти вокруг Kingdom Come: Deliverance, вымирание слэшеров, русский колорит

  • Обзор компактной фотокамеры Sony RX10 IV с сенсором 1″ и несменным 25-кратным зум-объективом

  • Обзор карты памяти SanDisk Extreme Pro CFast 2.0 емкостью 128 ГБ

  • Обзор портретного объектива Fujinon XF 50mm f/2 R WR для компактных беззеркальных камер Fujifilm

  • Запуск Falcon Heavy, убытки Илона Маска, умные очки Intel

  • Обзор недорогого корпуса Deepcool Earlkase RGB со стеклянной стенкой и RGB-подсветкой

  • Обзор кинокамеры Canon EOS C200: съемка 4K-видео с высокой частотой кадров в формате Cinema RAW Light

Календарь

март
Пн
Вт
Ср
Чт
Пт
Сб
Вс