Intel надеется на иммерсионную литографию в освоении норм 11 нм

ПредыдущаяСледующая

В конце прошлой недели, на мероприятии LithoVision 2010, Intel рассказала о планах развития литографической технологии. Коротко говоря, компания снова продлевает жизнь иммерсионной литографии и откладывает переход на использование излучения в жестком ультрафиолетовом диапазоне (EUV). Источники с длиной волны 193 нм будут применяться при производстве с соблюдением норм 11 нм.

В настоящее время для производства 45-нанометровых логических микросхем Intel использует «сухие» 193-нанометровые сканеры. В 2009 году на предприятия поступило первое иммерсионное оборудование с длиной волны 193 нм (сканеры производства Nikon), которое позволяет выпускать 32-нанометровые чипы.

Ранее, Intel надеялась использовать EUV при переходе к нормам 22 нм, запланированном на 2011 год. Проблема заключается в том, что технология EUV не будет готова к сроку, когда должен начаться выпуск продукции по нормам 22 и даже 15 нм. По данным источника, ссылающегося на слова ведущего специалиста Intel по литографической технологии, компания рассчитывает использовать 193-нанометровую иммерсионную литографию на этапе, соответствующем нормам 22 нм. Более того, компания подтвердила, что может расширить применение указанной технологии и на нормы 15 нм, освоение которых намечено на 2013 год. Пока 193-нанометровая иммерсионная литография остается единственным претендентом на использование в серийном производстве с соблюдением норм 15 нм.

На шаге 15 нм начнется пилотное производство с применением EUV. Однако и на следующем шаге, 11 нм, Intel надеется продолжать использовать 193-нанометровую иммерсионную литографию, но уже одновременно с EUV.

Источник: EE Times

24 февраля 2010 Г.

09:20

Ctrl
ПредыдущаяСледующая

Все новости за сегодня

Sony представит новые смартфоны 26 февраля 2018: В этом году выставка Mobile World Congress 2018 пройдет в Барселоне с 26 февраля по 1 марта

Apple вложит в экономику США 350 млрд долларов в последующие пять лет: Apple рассказала, как будет инвестировать в экономику США 19

Samsung представила однокристальную систему Exynos 7872: SoC Exynos 7872 всё-таки содержит GPU Mali-G71 MP17

Смартфон Samsung Galaxy On7 Prime (2018) не получил экрана AMOLED, но может предложить неплохие параметры: Смартфон Samsung Galaxy On7 Prime (2018) оценили в 200 долларов1

В текущем году на рынке моноблоков из лидеров лишь Lenovo и MSI смогут нарастить продажи: Lenovo останется лидером рынка моноблоков8

Samsung провела демонстрацию своего модема Exynos 5G, но в серийных смартфонах он появится лишь в следующем году: У Samsung уже есть прототип модема 5G10

Производительность SoC Exynos 7872 оказалась существенно выше, чем у Snapdragon 625: SoC Exynos 7872 набирает в AnTuTu почти 90 000 баллов30

Внешние хранилища WD G-Technology G-Speed Shuttle with Thunderbolt 3 доступны в вариантах объёмом до 48 ТБ: WD представила хранилища G-Technology G-Speed Shuttle with Thunderbolt 31

Samsung совместно с учёными работает над нейроморфным процессором нового поколения: Samsung хочет стать лидером на рынке нейроморфных процессоров38

194
-

iXBT TV

  • Обзор складной гладильной системы MIE Maxima: утюг, отпариватель для одежды и гладильная доска

  • Обзор недорогого Full HD DLP-проектора BenQ W1050 для домашнего кинотеатра

  • Процессор Intel с графикой AMD, экраны любой формы и размера

  • Критическая уязвимость Intel, разбор Apple iMac Pro, Dell XPS 13 стал тоньше

  • Обзор компактной беспроводной колонки JBL Playlist с поддержкой Chromecast

  • Обзор игрового IPS-монитора LG 34UM69G с соотношением сторон 21:9

  • Обзор блока питания Aerocool P7-750W Platinum с гибридной системой охлаждения

  • Apple специально замедляет старые iPhone, VR-революция, крошечный телефон

  • Обзор широкоугольного объектива Canon EF 35 mm F1.4L II USM

  • Обзор робота-пылесоса Kitfort KT-516 со сменными уборочными блоками

  • iMac Pro за $13 000, космический туризм, клавиатурные шпионы от HP

  • Обзор продвинутых сетевых накопителей QNAP D2 Pro и D4 Pro

Календарь

февраль
Пн
Вт
Ср
Чт
Пт
Сб
Вс

-