Super-k: VESTA Technology и ATDF создали альтернативу пленкам на основе оксидов гафния и циркония

ПредыдущаяСледующая

Специалисты компаний VESTA Technology и ATDF, создали пленки со сверхвысокой диэлектрической постоянной (Super High-k или Super-k) – новый продукт для полупроводникового производства, работающего с пластинами диаметром 200 и 300 мм. Одновременно с анонсом этой пленки представлена технология, которая открывает новые возможности в процессе низкотемпературной обработки пластин.

После нанесения, пленки Super-k имеют диэлектрическую постоянную (k) примерно вдвое более высокую, чем у пленок на основе «революционного» оксида гафния (HfO2) и оксида циркония (ZrO2). В сочетании с системой нанесения пленок осаждением атомарных слоев (atomic-layer deposition, ALD, в отечественной литературе иногда используется термин «молекулярное наслаивание»), созданной специалистами VESTA, пленки Super-k позволят производителям формировать емкости для ячеек DRAM и структуры флэш-памяти по нормам 45 нм. Кстати, интересующиеся ALD могут посмотреть весьма наглядный ролик, демонстрирующий суть технологии. (Внимание! Размер ролика – 9,6 Мб).

Созданию пленки Super-k предшествовала многомесячная совместная работа VESTA и ATDF.

Что касается упомянутой выше технологии для низкотемпературной обработки пластин, VESTA и ATDF предложили неразрушающий процесс, который позволяет наносить пленки на основе нитрида титана (TiN), не содержащие углерода, при температурах на 30% ниже, чем ранее.

По утверждению разработчиков, эта технология открывает новую эру, связанную с применением низких температур (350°C) в процессах, раньше доступных только при температурах выше 500°С. В частности, речь идет о формировании кремненикелевых интегральных приборов (NiSi) и других структур, обычно формируемых химическим осаждением паров (chemical-vapor deposition, CVD).

Источник: ATDF

15 июля 2007 Г.

10:44

Ctrl
ПредыдущаяСледующая

Все новости за сегодня

В мюнхенском аэропорту началось тестирование антропоморфного робота: Джози Пеппер — совместный проект аэропорта Мюнхена и авиакомпания Lufthansa

Социальная сеть Uhsupp будет представлен одновременно с новым флагманом Samsung: Uhsupp позволит пользователям обмениваться сообщениями, делиться фотографиями, видеороликами, оценивать записи друг друга

Больше никаких секретов: дата выхода, официальные изображения и характеристики Samsung Galaxy S9: Напомним, анонс смартфонов ожидается 25 февраля этого года

Xiaomi и Samsung продолжают спорить, кто из них лидирует на рынке смартфон Индии: Samsung сложно признать поражение

Смартфон HTC Desire 12 получит очень бюджетную платформу MediaTek : Смартфон HTC Desire 12 получит четырёхъядерный CPU1

Видеоролик демонстрирует трехмерную модель смартфона Nokia 8 Sirocco: Предположительно, устройство получит две сдвоенные камеры

Смартфон Samsung Galaxy S9+ набирает более 9000 баллов в тесте Geekbench: В однопоточном тесте результат составил 3773 балла, а в многопоточном устройство набрало впечатляющие 9024 балла4

Прирост производительности у процессоров AMD Ryzen 2000 будет выше, чем можно было бы ожидать, учитывая разницу в частотах: Ryzen 5 2600 попал в базу Geekbench

Опубликована новая версия фирменного рингтона Over the Horizon для смартфона Samsung Galaxy S9 : Презентация Samsung Galaxy S9 ожидается 25 февраля4

Suunto 3 Fitness — спортивные часы, способные адаптироваться под ваши тренировки: Suunto представила спортивные часы Suunto 3 Fitness 1

Видеоролик демонстрирует концепт смартфона Nokia 10 с пятью поворотными объективами: На задней панели находятся две 16-мегапиксельные камеры, а также система поворотных объективов с пятью разными диафрагмами2

Samsung занимает почти половину корейского рынка смартфонов: Купертиновцы немного прибавили за последний год5

На крышу кампуса Apple Park рухнул дрон: Дрон упал на крышу Apple Park6

Смартфон Nokia 4 может получить SoC Snapdragon 450: В Китае и других азиатских странах устройство выйдет под другим названием

Samsung получила 90,1% всей выручки на рынке OLED в прошлом квартале: Аналитики Display Supply Chain Consultants оценили рынок OLED4

Intel рассказала о прототипе дискретного GPU, состоящего из двух кристаллов: Intel работает над дискретным GPU?1

С сегодняшнего дня пользоваться смартфонами с Windows Phone 7.5 и Windows Phone 8 станет ещё сложнее: Microsoft отключает push-уведомления на Windows Phone 7.5 и Windows Phone 821

iXBT TV

  • Обзор многофункционального сетевого CD-ресивера Pioneer NC-50DAB

  • Обзор блока питания Thermaltake Toughpower iRGB Plus 1250W Titanium с программно-аппаратным комплексом мониторинга

  • [6.07] Подкаст PRO игры: cтрасти вокруг Kingdom Come: Deliverance, вымирание слэшеров, русский колорит

  • Обзор компактной фотокамеры Sony RX10 IV с сенсором 1″ и несменным 25-кратным зум-объективом

  • Обзор карты памяти SanDisk Extreme Pro CFast 2.0 емкостью 128 ГБ

  • Обзор портретного объектива Fujinon XF 50mm f/2 R WR для компактных беззеркальных камер Fujifilm

  • Запуск Falcon Heavy, убытки Илона Маска, умные очки Intel

  • Обзор недорогого корпуса Deepcool Earlkase RGB со стеклянной стенкой и RGB-подсветкой

  • Обзор кинокамеры Canon EOS C200: съемка 4K-видео с высокой частотой кадров в формате Cinema RAW Light

  • Обзор «камуфляжного» игрового ноутбука MSI GE62VR 7RF Camo Squad Limited Edition

  • Обзор светосильного широкоугольного объектива Nikon AF-S Nikkor 28mm f/1.4E ED

  • Обзор СВО Thermaltake Floe Riing RGB 360 TT Premium Edition

Календарь

июль
Пн
Вт
Ср
Чт
Пт
Сб
Вс