Intel рассматривает обратную литографию, как альтернативу EUV

ПредыдущаяСледующая

Столкнувшись с задержками в разработке EUV-литографии, компания Intel решила подстраховаться, уделив внимание технологиям, которые способны открыть резервы применения оптических сканеров в техпроцессах с нормами до 22 нм.

В частности, Intel работает над тем, что компания называет «вычислительной литографией» (computational lithography). По словам источника, это вариант так называемой обратной литографии. Обратная литография, EUV и double patterning находятся в числе кандидатов, которые Intel оценивает на роль технологии для 22-нм (полушаг норм 32 нм) логических микросхем.

Обратная литография, как следует из ее названия, построена на обратном ходе при изготовлении масок, отталкивающемся от заданных результатов. Попросту говоря, форму маски «вычисляют» по рисунку, который она должна оставить на пластине в результате экспонирования. Такой подход связан с разработкой специальных алгоритмов и интенсивными математическими операциями. Зато он позволяет решить многие проблемы, возникающие при переходе к условиям, когда формируемые в ходе литографии элементы должны быть значительно меньше длины волны излучения, используемого для экспонирования, и, как ожидается, поможет расширить действие оптической литографии за предел 45 нм.

Другими словами, обратная литография поможет отсрочить потребность в EUV-литографии, которая и так уже припозднилась из-за технических проблем. Сейчас в планах Intel – освоить применение EUV для производства 22-нм логических чипов к 2011 году.

Пока EUV технология не готова. Более того, поскольку сроки ее предполагаемой готовности соответствуют срокам ожидаемого перехода отрасли на 22-нм нормы, некоторые наблюдатели сомневаются, что EUV вообще выйдет на стадию практического применения. Кроме чисто технических проблем, есть и другие – например, высокая стоимость оборудования для EUV: эксперты называют цифры порядка 70-100 млн. долл.

Источник: EE Times

26 июня 2007 Г.

22:36

Ctrl
ПредыдущаяСледующая
194
194

Все новости за сегодня

Облачный сервис Samsung Cloud вскоре прекратит поддерживать резервное копирование сторонних приложений: С 6 февраля Samsung Cloud перестанет сохранять копии стороннего ПО 20

В конце года может выйти смартфон Nokia, оснащённый модулем из пяти камер: Nokia может выпустить смартфон с камерой с пятью датчиками изображения 46

Смартфон Samsung Galaxy J8 (2018) будет более производительным, чем можно было бы подумать: Samsung Galaxy J8 (2018) может прийти на смену моделям Galaxy J76

LG 27UK650-W — 27-дюймовый монитор 4K с поддержкой HDR10 и стоимостью 550 долларов: LG оснастила монитор 27UK650-W панелью IPS разрешением 4K UHD19

OnePlus действительно нашла на своём сайте чужеродный скрипт. Под угрозой находятся данные о 40 000 платёжных картах: Скрипт на сайте OnePlus собрал данные максимум о 40 000 платёжных картах 5

Apple возглавила рейтинг самых почитаемых компаний Fortune: Второй год подряд следом за Apple идет Amazon51

Низкий спрос на ноутбуки вынуждает производителей металлических корпусов обратить внимание на электромобили: Помимо корпусов электродвигателей производители осваивают выпуск корпусов для различной электроники, применяемой в электромобилях8

В 2017 году чаще всего клонировали смартфоны Samsung : Apple заняла вторую позицию с результатом 7,72%20

«Доллар 2.0» — Наталья Касперская назвала Bitcoin разработкой ЦРУ: Некоторые аналитики считают, что уже в этом году курс Bitcoin может достигнуть 100 000 долларов88

Представлены 3D-камеры Intel RealSense D415 и D435: RealSense D415 и D435 доступны для предзаказа по цене 150 и 180 долларов соответственно2

iOS 11 серьёзно отстаёт от предшествующей версии по темпам распространения : iOS 11 заняла 65% рынка совместимых устройств 58

Защищенный смартфон Aermoo M2 получил сдвоенные камеры PureView Carl Zeiss: В основной сдвоенной камере используются датчики изображения разрешением 16 и 13 Мп6

Суммарный годовой доход магазина Apple AppStore в нынешнем году сравняется с мировыми кассовыми сборами кинотеатров: AppStore скоро достигнет отметки в 40 млрд долларов дохода15

iXBT TV

  • Apple отключит замедление iPhone, 10 лет MacBook Air, дрон спас человека

  • Обзор автомобиля Mercedes-Benz E 220 d 4Matic All-Terrain Luxury: полноприводный внедорожный универсал

  • Обзор складной гладильной системы MIE Maxima: утюг, отпариватель для одежды и гладильная доска

  • Обзор недорогого Full HD DLP-проектора BenQ W1050 для домашнего кинотеатра

  • Процессор Intel с графикой AMD, экраны любой формы и размера

  • Критическая уязвимость Intel, разбор Apple iMac Pro, Dell XPS 13 стал тоньше

  • Обзор компактной беспроводной колонки JBL Playlist с поддержкой Chromecast

  • Обзор игрового IPS-монитора LG 34UM69G с соотношением сторон 21:9

  • Обзор блока питания Aerocool P7-750W Platinum с гибридной системой охлаждения

  • Apple специально замедляет старые iPhone, VR-революция, крошечный телефон

  • Обзор широкоугольного объектива Canon EF 35 mm F1.4L II USM

  • Обзор робота-пылесоса Kitfort KT-516 со сменными уборочными блоками

Календарь

июнь
Пн
Вт
Ср
Чт
Пт
Сб
Вс