Будущее начинается сегодня или как объединить оптическую и электронную литографию

ПредыдущаяСледующая
1174
1174

Уже немало споров идет вокруг и около разных перспективных технологий, способных быть использованными в производстве полупроводниковых микросхем по грядущим нормам, настойчиво приближающимся к квантовым пределам. Пытаясь примирить традиционную (оптическую) литографию с электронно-лучевой, Vistec Semiconductor Systems (ранее известная как Leica Microsystems – компания была выкуплена Golden Gate Capital и, впоследствии, переименована) сообщила в ходе конференции Semicon Europa в Мюнхене, что объединение двух технологий может быть использовано для массового производства и позволит промышленникам сэкономить как средства, так и время.

Vistec предсказывает, что электронно-лучевая литография, несмотря на свою дороговизну и ряд технических проблем, рано или поздно должна будет найти свой путь в массовое производство. Тем более, что, например, для микроэлектромеханических систем (MEMS) технология подходит как нельзя хорошо.

Электронно-лучевая литография уже сейчас позволяет наносить сфокусированным пучком электронов изображения на полупроводниковых пластинах размером вплоть 32 нм. Однако, для коммерческого производства она пока не годится – обработка подложек происходит слишком медленно.

Что же предлагает Vistec? Объединить преимущества двух методов: критически важные для функционирования будущих ИС узлы обрабатывать с помощью электронно-лучевой технологии, а все остальные – в обычных оптических (193-нм) сканерах. Здесь-то и содержится главная экономия: чем сложнее дизайн чипа, тем больше число и сложнее фотомаски. Используя подход Vistec, на части фотомасок можно сэкономить деньги, а на остальных узлах – время.

Разумеется, электронно-лучевая литография, скорее всего, будет и в дальнейшем использоваться для создания прототипов – впрочем, для этого технология применяется с 1980-х годов.

В ходе Semicon Europa компания Vistec также представила несколько своих новых электронно-лучевых устройств, способных работать как с 200-мм, так и с 300-мм пластинами, переключаясь между режимами в ходе работы. Эти же инструменты можно использовать для создания литографических масок, оттисков для импринт-литографии и выпуска MEMS.

8 апреля 2006 Г.

10:34

Ctrl
ПредыдущаяСледующая
1155
194
61174

Все новости за сегодня

SpaceX успешно провела уникальный для себя запуск : Запуск использовавшихся ранее Falcon 9 и Dragon прошёл успешно29

Google закрывает проект Project Tango после четырёх лет развития, очищая дорогу для ARCore: Поддержку Project Tango прекратят 1 марта9

Свой первый фирменный магазин в Южной Корее Apple откроет рядом со штаб-квартирой Samsung: Apple откроет свой первый магазин в Южной Корее 15

Специалисты Google использовали искусственный интеллект для поиска новых экзопланет: ИИ научили искать экзопланеты

Приложение iTunes для Microsoft Store появится лишь в следующем году: iTunes для Microsoft Store до конца года не выйдет16

В США отменили правила сетевого нейтралитета : Сетевой нейтралитет более не работает в США65

Видео дня: вид из капсулы Crew Capsule 2.0 космического корабля New Shepard: Blue Origin показала полёт корабля New Shepard из капсулы Crew Capsule 2.022

Приложение Google Maps стало еще удобнее: Эти подсказки появляются не только в самом приложении, но и на экране блокировки смартфонов и планшетов, работающих под управлением ОС Android10

Samsung запатентовала еще один сгибающийся смартфон: Samsung выпустит первый сгибающийся смартфон в 2018 году8

Беспроводная зарядная станция Nanfu AirCharge для iPhone X стоит $10: В списке рекомендованных беспроводных зарядных устройств сторонних производителей на сайте Apple указаны модели стоимостью от $7514

Huawei P11 с акцентом на камере и системе ИИ выйдет в первом квартале 2018: По слухам, Huawei P11 проходит под рабочим названием EMILY2

Два разных экземпляра iPhone X не смогли отличить двух китаянок, не являющихся родственницами: Функция Face ID иногда не способна отличить двух совершенно разных людей68

BlackBerry будет поддерживать свои мобильные операционные системы ещё два года, но некоторые сервисы закроют раньше: BB10 и BB OS будут поддерживаться ещё два года1

Haier представила внешний аккумулятор емкостью 20 000 мА•ч с поддержкой двухсторонней быстрой зарядки: Цена устройства не сообщается4

Apple работает над совершенно новым ПК Mac Pro и новым профессиональным монитором: Новый Mac Pro всё-таки увидит свет25

Смартфон Vernee X получил две сдвоенные камеры, аккумулятор емкостью 6200 мА•ч и систему распознавания лиц: До 25 декабря смартфон можно заказать за 250 долларов3

Смартфон Honor 9 Lite будет дороже предшественника: Смартфон Honor 9 Lite будет стоить около 300 долларов1

Представлено новое поколение защитных диодов Nexperia для бортовых сетей автомобилей: Диоды Nexperia PESDxIVN соответствуют требованиям AEC-Q1018

1318
1318

iXBT TV

  • Обзор продвинутых сетевых накопителей QNAP D2 Pro и D4 Pro

  • Обзор воздухоочистителя и тепловентилятора Dyson Pure Hot+Cool

  • Обзор корпуса Thermaltake View 71 TG RGB со стеклянными стенками

  • Обзор роликового массажера Gochu HPM-600 с инфракрасным прогревом

  • Обзор робота-пылесоса iBoto Easy Home X410

  • Настоящий титан, машинное обучение для камеры, «игровой Оскар» 2017

  • Обзор струйного МФУ Canon Maxify MB5440 с широкими возможностями для небольшого офиса

  • Обзор рожковой кофеварки Kitfort KT-703 с полуавтоматическим приготовлением капучино и латте

  • Обзор видеорегистратора с радар-детектором и GPS-модулем Slimtec Phantom A7

  • Взлом macOS, покемоны-вредители, сверхскоростной стандарт HDMI 2.1

  • Выбор системы хранения данных бюджетного игрового компьютера: HDD/SSD/Optane Memory

  • Обзор беззеркальной камеры Sony α6500 премиального класса с сенсором APS-C

Календарь

апрель
Пн
Вт
Ср
Чт
Пт
Сб
Вс

1212
1212
997