Не так давно мы рассказывали о полимерной сегнетоэлектрической памяти (FeRAM) корпорации Seiko Epson, одной из отличительных особенностей производства которой является использование струйной печати. Как сообщила компания, технологии струйной печати Seiko Epson использует также в создании низкотемпературных тонкопленочных транзисторов (LTPS-TFT), применяющихся в жидкокристаллических дисплеях. Утверждается, что характеристики покрытия, нанесенного методом спин-чувствительной струйной печати, сравнимы с характеристиками устройств, получаемых традиционным методом напыления.
Новая технология, что, в общем-то, характерно для подавляющего большинства новых разработок, предназначена для снижения себестоимости производства, в данном случае –TFT ЖК-дисплеев большой диагонали. Её главное преимущество – отсутствие необходимости в использовании вакуумных камер, которые приходится делать довольно большого размера.
Используемый при «печати» материал был разработан Epson совместно с корпорацией JSR. Материал содержит силановый (кремний + водород) комплекс высокого порядка, к тому же при создании дисплея кремниевая пленка наносится спин-чувствительным методом, вследствие чего подвижность электронов достигает 108 кв. см/В*с, что примерно равно подвижности электронов в напыляемых традиционным методом пленках. Для сравнения, создание пленок методом обычной «струйной печати» позволяет достичь подвижности электронов всего лишь около 6,5 кв. см/В*с.