Cymer начинает поставки источника света для литографии по нормам 45 нм

ПредыдущаяСледующая

Компания Cymer, поставщик источников ультрафиолетового излучения для полупроводникового производства, объявила о первой поставке изделия XLA 300. Событие важное - по сути дела, оно знаменует начало нового этапа в производстве: XLA 300 - первый в мире источник света на базе фторида аргона (ArF, длина волны 193 нм) с частотой следования импульсов 6 кГц. Он был разработан для использования в массовом производстве полупроводниковых изделий по технологии иммерсионной фотолитографии с соблюдением норм 45 нм.

Как утверждается в пресс-релизе, частота следования импульсов 6 кГц - максимальная среди источников света такого типа на данный момент. Выходная мощность XLA 300 достигает 60 Вт, что позволяет снизить энергию каждого импульса, одновременно сохранив среднюю мощность излучения. За счет этого сводится к минимуму повреждение оптических материалов самой лампы и проекционной оптики. Высокая частота, кроме того, позволяет точнее дозировать энергию - важное свойство с точки зрения производителей полупроводников, поскольку оно обуславливает точное соблюдение так называемых "критических размеров".

Ожидается, что источник четвертого поколения, основанный на проверенной разработке Cymer Master Oscillator Power Amplifier (MOPA), будет быстро принят рынком, поскольку потребность в таком оборудовании высока - производители торопятся поскорее освоить передовые технологии, укрепляя свои позиции в конкурентной борьбе.

Источник: Cymer

9 ноября 2005 Г.

20:17

Ctrl
ПредыдущаяСледующая
194
194

Все новости за сегодня

Облачный сервис Samsung Cloud вскоре прекратит поддерживать резервное копирование сторонних приложений: С 6 февраля Samsung Cloud перестанет сохранять копии стороннего ПО 3

В конце года может выйти смартфон Nokia, оснащённый модулем из пяти камер: Nokia может выпустить смартфон с камерой с пятью датчиками изображения 20

Смартфон Samsung Galaxy J8 (2018) будет более производительным, чем можно было бы подумать: Samsung Galaxy J8 (2018) может прийти на смену моделям Galaxy J71

LG 27UK650-W — 27-дюймовый монитор 4K с поддержкой HDR10 и стоимостью 550 долларов: LG оснастила монитор 27UK650-W панелью IPS разрешением 4K UHD9

OnePlus действительно нашла на своём сайте чужеродный скрипт. Под угрозой находятся данные о 40 000 платёжных картах: Скрипт на сайте OnePlus собрал данные максимум о 40 000 платёжных картах 1

Apple возглавила рейтинг самых почитаемых компаний Fortune: Второй год подряд следом за Apple идет Amazon32

Низкий спрос на ноутбуки вынуждает производителей металлических корпусов обратить внимание на электромобили: Помимо корпусов электродвигателей производители осваивают выпуск корпусов для различной электроники, применяемой в электромобилях5

В 2017 году чаще всего клонировали смартфоны Samsung : Apple заняла вторую позицию с результатом 7,72%16

«Доллар 2.0» — Наталья Касперская назвала Bitcoin разработкой ЦРУ: Некоторые аналитики считают, что уже в этом году курс Bitcoin может достигнуть 100 000 долларов69

Представлены 3D-камеры Intel RealSense D415 и D435: RealSense D415 и D435 доступны для предзаказа по цене 150 и 180 долларов соответственно2

iOS 11 серьёзно отстаёт от предшествующей версии по темпам распространения : iOS 11 заняла 65% рынка совместимых устройств 53

Защищенный смартфон Aermoo M2 получил сдвоенные камеры PureView Carl Zeiss: В основной сдвоенной камере используются датчики изображения разрешением 16 и 13 Мп5

Суммарный годовой доход магазина Apple AppStore в нынешнем году сравняется с мировыми кассовыми сборами кинотеатров: AppStore скоро достигнет отметки в 40 млрд долларов дохода13

iXBT TV

  • Apple отключит замедление iPhone, 10 лет MacBook Air, дрон спас человека

  • Обзор автомобиля Mercedes-Benz E 220 d 4Matic All-Terrain Luxury: полноприводный внедорожный универсал

  • Обзор складной гладильной системы MIE Maxima: утюг, отпариватель для одежды и гладильная доска

  • Обзор недорогого Full HD DLP-проектора BenQ W1050 для домашнего кинотеатра

  • Процессор Intel с графикой AMD, экраны любой формы и размера

  • Критическая уязвимость Intel, разбор Apple iMac Pro, Dell XPS 13 стал тоньше

  • Обзор компактной беспроводной колонки JBL Playlist с поддержкой Chromecast

  • Обзор игрового IPS-монитора LG 34UM69G с соотношением сторон 21:9

  • Обзор блока питания Aerocool P7-750W Platinum с гибридной системой охлаждения

  • Apple специально замедляет старые iPhone, VR-революция, крошечный телефон

  • Обзор широкоугольного объектива Canon EF 35 mm F1.4L II USM

  • Обзор робота-пылесоса Kitfort KT-516 со сменными уборочными блоками

Календарь

ноябрь
Пн
Вт
Ср
Чт
Пт
Сб
Вс